加壓燒結銀AS9385工藝流程:
1 清潔粘結界面
2 界面表面能太低,建議增加界面表面能
3 粘結尺寸過大時,建議一個界面開導氣槽
4 一個界面涂布燒結銀時,涂布的要均勻
5 另外一個界面放燒結銀上時,建議加一點壓力到上界面壓一下
6 預烘階段:150度20-30分鐘,界面是銅的基底建議氮氣保護(金或者銀除外)
7 預壓階段:150度加壓0.5-1MPa,時間為:1-3秒;
8 本壓階段:220-280度加壓10-30MPa,時間2-6分鐘;
9 燒結結束時,建議在烘箱中逐步降溫到室溫再把器件拿出。