2023碳化硅關(guān)鍵裝備、工藝及其他新型半導(dǎo)體技術(shù)論壇

發(fā)布日期：2023-04-06 瀏覽次數(shù)：1502 狀態(tài)：

展會(huì)日期	2023-05-05 至 2023-05-07
展出城市	長(zhǎng)沙
展出地址	長(zhǎng)沙圣爵菲斯大酒店
展館名稱(chēng)	長(zhǎng)沙圣爵菲斯大酒店
主辦單位	第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè) 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)

展會(huì)說(shuō)明

900.383頭圖

2023碳化硅關(guān)鍵裝備、工藝及其他新型半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展論壇

（CASICON 2023）

尊敬的各有關(guān)單位：

第三代半導(dǎo)體是實(shí)現(xiàn)“雙碳”目標(biāo)、“東數(shù)西算”戰(zhàn)略和保障國(guó)家產(chǎn)業(yè)安全、經(jīng)濟(jì)高質(zhì)量發(fā)展的重要支撐。隨著5G、新能源汽車(chē)等市場(chǎng)發(fā)展，第三代半導(dǎo)體的需求規(guī)模保持高速增長(zhǎng)。特別是近兩年碳化硅、氮化鎵功率器件的采用在眾多市場(chǎng)快速增長(zhǎng)，覆蓋可再生能源與儲(chǔ)能、電動(dòng)汽車(chē)、充電基礎(chǔ)設(shè)施、工業(yè)電源、牽引和變速驅(qū)動(dòng)等眾多領(lǐng)域，可帶來(lái)更小型、更輕量、更具經(jīng)濟(jì)效益的設(shè)計(jì)，并更高效率地實(shí)現(xiàn)能量轉(zhuǎn)換，從而賦能不計(jì)其數(shù)的新型清潔能源應(yīng)用，在全球朝向可持續(xù)電氣化轉(zhuǎn)型中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。我國(guó)目前在以碳化硅、氮化鎵為首的第三代半導(dǎo)體材料領(lǐng)域已經(jīng)形成了完整的產(chǎn)業(yè)鏈，從材料、裝備及工藝技術(shù)等方面也均實(shí)現(xiàn)了部分國(guó)產(chǎn)化替代，占據(jù)了一定的市場(chǎng)份額，但在材料、工藝與裝備一體化、大規(guī)模量產(chǎn)能力、器件性能與穩(wěn)定性等方面與國(guó)際先進(jìn)水平仍存在一定差距，要實(shí)現(xiàn)碳化硅關(guān)鍵裝備及工藝技術(shù)完全的國(guó)產(chǎn)自主可控，仍需產(chǎn)業(yè)上下游各方加強(qiáng)協(xié)作，攜手攻克難關(guān)。

為強(qiáng)化自主科技創(chuàng)新，提升核心裝備國(guó)產(chǎn)化供給能力，在第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟的指導(dǎo)下，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)與中國(guó)電子科技集團(tuán)第四十八研究所、國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（湖南）、中南大學(xué)聯(lián)合組織籌辦，擬于5月5-7日在長(zhǎng)沙市舉辦“2023碳化硅關(guān)鍵裝備、工藝及其他新型半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展論壇”，會(huì)議圍繞 “碳化硅襯底、外延及器件相關(guān)裝備產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展”、“關(guān)鍵零部件及制造工藝創(chuàng)新突破”、“產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)同創(chuàng)新”、“氮化鎵與氧化鎵等其他新型半導(dǎo)體”，邀請(qǐng)產(chǎn)業(yè)鏈上下游的企業(yè)及高?？蒲性核砩钊胙杏懀瑪y手促進(jìn)國(guó)內(nèi)碳化硅及其他半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

先進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)大會(huì)組委會(huì)

2023年4月

》》組織機(jī)構(gòu)

指導(dǎo)單位

第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟

主辦單位

第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)

承辦單位

中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所

國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（湖南）

中南大學(xué)

北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司

協(xié)辦單位

瀏陽(yáng)泰科天潤(rùn)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司

中車(chē)時(shí)代電氣股份有限公司

......

》》主題方向

1、宏觀趨勢(shì)與產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀

·碳化硅全球發(fā)展趨勢(shì)、現(xiàn)狀及應(yīng)用前景；

·國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)政策分析、產(chǎn)業(yè)需求研判；

·國(guó)產(chǎn)裝備現(xiàn)狀、行業(yè)發(fā)展痛點(diǎn)及未來(lái)展望；

·資金、人才、技術(shù)、市場(chǎng)等關(guān)鍵要素分析；

2、技術(shù)方向與產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)

·碳化硅晶體生長(zhǎng)、加工工藝及相關(guān)裝備技術(shù)；

·外延材料生長(zhǎng)、芯片制造等核心工藝技術(shù)及關(guān)鍵裝備

·封裝材料、工藝及裝備技術(shù)；

·氮化鎵、氧化鎵等新型半導(dǎo)體材料、工藝和裝備探索；

3、產(chǎn)業(yè)配套及供應(yīng)鏈

·襯底、外延、器件等設(shè)計(jì)軟件及檢測(cè)裝備；

·石墨/涂層/清洗/特氣等配套材料、工藝、裝備的協(xié)同優(yōu)化；

·產(chǎn)品性能/良率/可靠性等要素分析與改進(jìn)；

·生產(chǎn)流程控制、工藝優(yōu)化與產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新；

4、規(guī)模應(yīng)用與市場(chǎng)探索

·車(chē)用碳化硅/氮化鎵器件技術(shù)進(jìn)展；

·碳化硅功率器件技術(shù)進(jìn)展及應(yīng)用前景；

·產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展及裝備需求；

·市場(chǎng)動(dòng)力、核心競(jìng)爭(zhēng)力塑造與面臨挑戰(zhàn)。

》》時(shí)間地點(diǎn)

論壇時(shí)間：2023年5月5-7日

論壇地點(diǎn)：湖南·長(zhǎng)沙

》》日程安排(具體報(bào)告陸續(xù)更新中)

時(shí)間		主要安排
5月5日	09:00 13:00	報(bào)到&資料領(lǐng)取
	13:30 17:30	開(kāi)幕大會(huì)+合影
	18:00 21:00	歡迎晚宴
5月6日	09:00 12:00	分論壇1：碳化硅關(guān)鍵裝備、工藝及配套材料技術(shù)	分論壇2：氮化鎵、氧化鎵及其他新型半導(dǎo)體
	12:00 13:30	午餐&交流
	13:30 17:30	分論壇1：碳化硅關(guān)鍵裝備、工藝及配套材料技術(shù)	分論壇2：氮化鎵、氧化鎵及其他新型半導(dǎo)體
	18:30 20:30	晚餐&結(jié)束
5月7日	08:30 12:00	商務(wù)考察活動(dòng)&返程（中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所或泰科天潤(rùn)或湖南三安半導(dǎo)體）
備注：僅供參考，以現(xiàn)場(chǎng)為準(zhǔn)。