臭氧老化試驗的裝置被稱為臭氧老化儀、臭氧老化機或臭氧老化試驗箱，其型號有多種，但一般均具有8大主要部分，即：臭氧發生器，老化試驗箱，臭氧濃度控制或檢測裝置等。臭氧發生器有兩種：紫外光燈和無聲放電管。只要能達到要求，可以選用任一種。一般來說，采用紫外燈發生臭氧，比較適于做低濃度（200pphm以下）的臭氧老化試驗，因為其所需的電壓、電流較小，臭氧濃度比較容易控制。但因燈光的強度有限，不易達到很高的臭氧濃度。采用無聲放電管則比較適于做高濃度（500～1000pphm以上）臭氧老化試驗。但因它需用高電壓，故做低臭氧濃度較難穩定控制，誤差較大。臭氧老化試驗箱是試樣進行老化的空間，必須是密閉的，不受外部光照并能恒定控制試驗所需的臭氧濃度和溫差。試驗箱的容積一般不宜小于0.1m3。箱室的尺寸應能容納做動態拉伸的試樣夾具和框架，能保持含臭氧空氣的流速或流量及臭氧濃度的恒定。控制和調節臭氧濃度可用自動化的方法，但并非一定用自動化，也可以通過施加電壓或氣體流速來調節。檢測臭氧濃度的方法有種多，例如有碘量滴定法，電化學法，光化學法和比色法等。經典測定臭氧濃度的碘量滴定法可參照GB7762-87的附錄A。