中晟光電大型MOCVD設(shè)備ProMaxyTM正式進(jìn)入市場(chǎng)
2013-03-22來(lái)源:中國(guó)半導(dǎo)體照明網(wǎng) 作者： 行業(yè)：其他
2013年3月19日，中晟光電設(shè)備(上海)有限公司正式發(fā)布大型 MOCVD 設(shè)備 ProMaxyTM 進(jìn)入市場(chǎng)。已有客戶接受多腔 ProMaxyTM 并調(diào)試進(jìn)展順利。此外，多家客戶對(duì) ProMaxyTM完成了現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)機(jī)與評(píng)估。
ProMaxyTM專(zhuān)注于超高亮度 LED 的大規(guī)模生產(chǎn)，具有目前世界上最高的系統(tǒng)產(chǎn)能， 264 片/2英寸，68片/4英寸，或32片/6英寸;具有最低的單片外延生產(chǎn)成本;具有良好的波長(zhǎng)均勻性及大規(guī)模外延生產(chǎn)所需的各項(xiàng)關(guān)鍵性能。
ProMaxyTM 提供機(jī)臺(tái)配置的靈活性， 客戶可以根據(jù)需要配置 1-4 個(gè)反應(yīng)腔，各個(gè)反應(yīng)腔獨(dú)立操作控制，提高設(shè)備效率和生產(chǎn)的靈活性。
ProMaxyTM適合大規(guī)模生產(chǎn)多種器件，包括藍(lán)白光 LED、綠光LED、紫外光 LED 以及功率器件等,且簡(jiǎn)單更換工藝程序即可實(shí)現(xiàn)不同器件的生產(chǎn)。
公司董事長(zhǎng)兼執(zhí)行長(zhǎng)陳愛(ài)華博士指出：“中晟推出 ProMaxyTM旨在為我們的客戶提供最優(yōu)的擁有價(jià)值和能發(fā)揮客戶自身優(yōu)勢(shì)的設(shè)備平臺(tái)，為半導(dǎo)體照明高速發(fā)展提供新的活力。”
客戶也充分肯定了ProMaxyTM的技術(shù)方向和設(shè)計(jì)上的世界先進(jìn)性。漢萊總經(jīng)理孫明表示，“中晟 ProMaxyTM MOCVD在兩周內(nèi)便完成安裝，第二爐便達(dá)到 85%的亮度指標(biāo)。經(jīng)過(guò)進(jìn)一步的調(diào)試和驗(yàn)證，ProMaxyTM生產(chǎn)出來(lái)的 1023 芯片在 20mA 已達(dá) 155lm/W，裝入 12W 的 T8燈管，整燈光效仍超過(guò) 140lm/W。 ”
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