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理想能源MOCVD設(shè)備于璨揚(yáng)光電正式投入試量產(chǎn)
2013-10-17來源: 中國半導(dǎo)體照明網(wǎng) 作者: 行業(yè):其他
2013年10月18日,理想能源設(shè)備(上海)有限公司與璨圓光電股份有限公司聯(lián)合宣布:理想能源MOCVD設(shè)備已于臺灣璨圓光電股份有限公司位于揚(yáng)州的子公司-江蘇璨揚(yáng)光電有限公司的外延工廠正式投入試量產(chǎn)。這是繼2012年12月具有國際尖端技術(shù)水平的首臺MOCVD設(shè)備下線之后,理想能源與璨圓光電攜手在國產(chǎn)MOCVD設(shè)備產(chǎn)業(yè)化方面取得的又一重大突破,實(shí)現(xiàn)了MOCVD設(shè)備完全自制化。同時(shí),這也是兩岸企業(yè)共同合作在LED領(lǐng)域建立中華品牌取得的首次重大成果;一舉打破了MOCVD設(shè)備市場長期被歐美企業(yè)壟斷的局面,使LED設(shè)備的國產(chǎn)化又向前邁進(jìn)了一大步。
MOCVD是生產(chǎn)高亮度LED芯片的最關(guān)鍵設(shè)備,因設(shè)備技術(shù)難度高、開發(fā)周期長以及產(chǎn)業(yè)化起步晚等原因,兩岸市場長期以來被歐美企業(yè)所壟斷。近年來,兩岸LED制造在規(guī)模與品質(zhì)上都取得了舉世矚目的成就,但最關(guān)鍵的MOCVD設(shè)備仍然依賴國外供應(yīng)商,LED生產(chǎn)成本居高不下,嚴(yán)重制約著LED產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。因此,開發(fā)出更高性價(jià)比的國產(chǎn)商業(yè)化MOCVD設(shè)備是海峽兩岸LED外延芯片企業(yè)的迫切要求。
理想能源首臺MOCVD設(shè)備發(fā)運(yùn)至江蘇璨揚(yáng)光電后,璨揚(yáng)光電按照大規(guī)模外延生產(chǎn)的要求,對理想能源的MOCVD設(shè)備進(jìn)行了各項(xiàng)設(shè)備性能和外延制程的測試和驗(yàn)證;然后雙方結(jié)合理想能源設(shè)備的特點(diǎn),進(jìn)一步調(diào)試和優(yōu)化了外延工藝和LED性能。在此基礎(chǔ)上,璨揚(yáng)光電對理想能源的MOCVD設(shè)備又進(jìn)行了外延量產(chǎn)的可靠性、穩(wěn)定性和重復(fù)性等各方面的評估;最終決定將其正式投入到璨揚(yáng)光電的生產(chǎn)線進(jìn)行試量產(chǎn)。
璨圓光電董事長簡奉任博士表示:“理想能源的MOCVD設(shè)備設(shè)計(jì)理念十分先進(jìn),創(chuàng)新和差異化特征突出,具有產(chǎn)能大、使用成本低的特點(diǎn);在整個(gè)驗(yàn)證過程中,雙方團(tuán)隊(duì)密切配合,攻克了眾多難關(guān)。這是兩岸企業(yè)首度攜手在MOCVD設(shè)備研發(fā)合作方面取得的重大成果。相信在兩岸LED業(yè)界同仁的共同努力下,中華品牌MOCVD設(shè)備最終將會取得與歐美設(shè)備比肩的地位!”
理想能源MOCVD設(shè)備基于自主創(chuàng)新設(shè)計(jì),具備完整的知識產(chǎn)權(quán),在LED 的大規(guī)模生產(chǎn)上優(yōu)勢明顯:具有目前業(yè)界最高的單腔產(chǎn)能,90片(2英吋)/批次,24片(4英吋)/批次;具有最低的單片外延生產(chǎn)成本;具有良好的波長均勻性及大規(guī)模外延生產(chǎn)所需的各項(xiàng)關(guān)鍵性能。理想能源目前提供單反應(yīng)腔和簇式多反應(yīng)腔兩種機(jī)型。預(yù)計(jì)到2013年底,將有4-5臺機(jī)臺進(jìn)入大陸和臺資LED廠,用于多種LED產(chǎn)品的生產(chǎn)。
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