德國黑措根拉特，2018年9月25日 — 全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體行業(yè)沉積設(shè)備供應(yīng)商AIXTRON愛思強(qiáng)股份有限公司（法蘭克福證券交易所：AIXA）今日宣布，華芯半導(dǎo)體科技有限公司已采購一臺(tái)AIX 2800G4-TM MOCCVD用于激光二極管的生產(chǎn)。作為中國VCSEL（垂直腔面發(fā)射激光器）芯片專家，華芯半導(dǎo)體將于2018年第四季度收到其首臺(tái)AIXTRON機(jī)臺(tái)。全自動(dòng)化的行星式反應(yīng)器®將以8x6英寸的配置實(shí)現(xiàn)VCSEL激光器的大規(guī)模量產(chǎn)。

AIX 2800G4-TM機(jī)型已經(jīng)確立了應(yīng)用于3D感應(yīng)的VCSEL及其他激光二極管大規(guī)模生產(chǎn)的領(lǐng)先地位。行星式反應(yīng)器®的概念不僅最大程度保障了高性能芯片的良率，而且也保證了外延片的均勻性以提供無與倫比的生產(chǎn)力。除了每臺(tái)機(jī)臺(tái)優(yōu)良的再現(xiàn)性之外，客戶也贊賞了多個(gè)機(jī)臺(tái)間絕佳的重復(fù)性。此外AIX 2800G4-TM還保障了MOCVD工藝中昂貴化學(xué)資源的最高利用率，用來生產(chǎn)激光二極管。

華芯半導(dǎo)體科技有限公司總經(jīng)理彭靈勇表示：“近年來AIX 2800 G4-TM平臺(tái)已經(jīng)確立了在VCSEL或光通訊激光器生產(chǎn)的領(lǐng)先地位。這將是我們首臺(tái)AIXTRON MOCVD機(jī)臺(tái)，我們非常期待受益于AIX 2800G4-TM提供的卓越器件性能，最佳外延片均勻性，和最大靈活性。”

“我們很榮幸能將AIX 2800G4-TM卓越的性能展現(xiàn)給華芯半導(dǎo)體。它是光子應(yīng)用領(lǐng)域中大規(guī)模生產(chǎn)的理想解決方案。我們期待與華芯半導(dǎo)體的合作，并提供最大程度的支持來協(xié)助華芯半導(dǎo)體將已有的生產(chǎn)技術(shù)轉(zhuǎn)移到我們的平臺(tái)。”AIXTRON愛思強(qiáng)股份有限公司總裁Bernd Schulte博士說。