比利時納米電子研究中心IMEC與Veeco正在進行項目合作,旨在降低生產硅基氮化鎵(GaN-on-Si)功率器件和LED的成本。
IMEC的首席科學家Barun Dutta評論說,“Veeco MOCVD設備的生產力,可重復性,均勻性和晶體質量為我們在硅基氮化鎵和LED應用的發展里程碑上起到了重要作用。啟用該設備性能外延已經幫助我們實現最先進的D-模式(耗盡模式)和E-模式(增強模式)功率器件。我們的目標是建立一個完整的生產基礎設施,使硅基氮化鎵成為具備競爭力的技術?!?/p>
IMEC的多元伙伴硅基氮化鎵的研究和發展計劃,積聚業界共同開發世界級的氮化鎵LED及兼容200nm的CMOS基礎設施的200nm硅襯底功率器件。通過與IMEC聯手,公司共享成本、人才和知識產權,以開發先進技術,將它們更快地推向市場。
Veeco高級副總裁兼總經理,Jim Jenson,評論說,“2011年以來,我們一直就這個項目與IMEC合作,并受到自身進步的鼓勵。我們的合作是互惠互利的,因為我們都專注于能夠實現更低的成本,同時保持硅基氮化鎵器件的一流性能。這種技術可以用于實現較低的成本,使固態照明,更高效的電源設備適用于多種應用,如電源及適配器,光伏逆變器的太陽能電池板,和用于電動車的功率轉換。