MOCVD國產(chǎn)化加速 國際廠商強(qiáng)化性能應(yīng)對(duì)

       ——材料與裝備技術(shù)會(huì)議觀察

無論是中科宏微、還是廣東昭信，再或是中微半導(dǎo)體，三家在CHINASSL2013之材料與裝備技術(shù)分會(huì)上對(duì)MOCVD設(shè)備志在必得的開發(fā)投產(chǎn)之勢(shì)，顯然讓國際廠商有了緊迫感。

“我們的愿望是向市場(chǎng)提供MOCVD傻瓜機(jī)，客戶只要第一次了解設(shè)備如何使用，今后按照設(shè)定好的程序就能比較輕松地完成設(shè)備的使用，并實(shí)現(xiàn)了從生產(chǎn)到制造的完全標(biāo)準(zhǔn)化和100%國產(chǎn)化。”廣東昭信半導(dǎo)體裝備制造有限公司技術(shù)代表甘志銀在臺(tái)上的發(fā)聲渾厚又清晰，“我們?cè)谘邪l(fā)過程采取了全程仿真設(shè)計(jì)，2005年開始研發(fā)，2009年投資試產(chǎn)，流程循環(huán)也已進(jìn)行完畢，包括備受關(guān)注的溫度如何保持穩(wěn)定性和均勻性，都將在12月底徹底完成，他還表示，“現(xiàn)在共有五臺(tái)新一代MOCVD設(shè)備正在裝配生產(chǎn)。”

在競(jìng)爭(zhēng)愈發(fā)激烈時(shí)推出自產(chǎn)MOCVD，這是甘志銀為企業(yè)發(fā)展做出的注腳，志在必得之勢(shì)溢于言表。又豈止是昭信，中科宏微技術(shù)代表胡強(qiáng)全程介紹其研發(fā)的產(chǎn)品時(shí)的自信與娓娓道來，以及二人介紹完畢后與會(huì)者提出的問題顯然讓與會(huì)國際廠商愛思強(qiáng)、維易科和賽倫光電相關(guān)技術(shù)代表有所沉思。這在愛思強(qiáng)技術(shù)代表Andreas Toennis 隨后的AIXTRON技術(shù)介紹中可見端倪：“價(jià)格降低需要價(jià)值鏈中每一個(gè)企業(yè)為之努力，降低成本可以提高消費(fèi)者的接納度，·····我們要通過不斷地進(jìn)行技術(shù)改進(jìn)，保持設(shè)備的生產(chǎn)能力和靈活度。”

國際廠商的壓力感在記者隨后對(duì)會(huì)議主持人南京大學(xué)電子學(xué)院博士生導(dǎo)師、南京大學(xué)揚(yáng)州光電研究院院長陳鵬教授的采訪中也得到了驗(yàn)證。

陳鵬教授認(rèn)為，這次技術(shù)會(huì)議給他的感受有兩點(diǎn)。一是國產(chǎn)化MOCVD發(fā)展迅速，雖然沒有大面積鋪開，但一些設(shè)備已經(jīng)開始進(jìn)入試用階段，從技術(shù)來看，無論是容量還是性能與國際水平在逐漸靠近，設(shè)計(jì)理念、結(jié)構(gòu)包括科學(xué)性也可與國際技術(shù)相比擬，“雖然在報(bào)告上看，細(xì)致和研究程度與愛思強(qiáng)和維易科還存在差距，但發(fā)展與前兩年不一樣，有較大進(jìn)展。”

對(duì)于國產(chǎn)化MOCVD迅速發(fā)展對(duì)于國際廠商的影響，陳鵬認(rèn)為，國際廠商的壓力并不在于國產(chǎn)化設(shè)備推出對(duì)其獲取高額利潤的影響，正如愛思強(qiáng)技術(shù)代表Andreas Toennis 所說，愛思強(qiáng)會(huì)不斷通過技術(shù)改進(jìn)保持設(shè)備的生產(chǎn)能力和靈活度。從技術(shù)來講，國產(chǎn)MOCVD只是其中的一種機(jī)型，愛思強(qiáng)和維易科完全可以憑借技術(shù)優(yōu)勢(shì)不斷推出設(shè)備的加強(qiáng)升級(jí)版，從價(jià)格策略看，其也不會(huì)輕易采取降低設(shè)備價(jià)格來贏取市場(chǎng)，畢竟現(xiàn)在還無人超越。況且中國政府也為企業(yè)購買進(jìn)口設(shè)備提供了較大幅度的補(bǔ)貼，因此，目前來講，價(jià)格并不是這些國際廠商主要的壓力。危機(jī)感在于，一旦國產(chǎn)化設(shè)備技術(shù)成熟，正式投入使用，那時(shí)就不是價(jià)格問題，而是市場(chǎng)份額減少，這遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于降低價(jià)格對(duì)企業(yè)產(chǎn)生的影響。“從這次報(bào)告來看，國內(nèi)設(shè)備的生長機(jī)制和運(yùn)行規(guī)律遠(yuǎn)未達(dá)到他們研究的深度和廣度，但他們?nèi)詫?duì)這次技術(shù)報(bào)告一場(chǎng)不落，足見對(duì)國內(nèi)MOCVD進(jìn)展的關(guān)注和重視。國內(nèi)設(shè)備已進(jìn)入到應(yīng)用的門檻上。”

除裝備技術(shù)外，本次會(huì)議展示的新材料技術(shù)雖不乏亮點(diǎn)，但整體而言，陳鵬認(rèn)為，與MOCVD相比，從材料的性能和新應(yīng)用方面，技術(shù)進(jìn)展略顯遲緩，不似前幾年突飛猛進(jìn)。表現(xiàn)在流明每瓦的器件效率仍停留在100~150之間，突破150的技術(shù)跡象并未發(fā)現(xiàn)。其次是，LED應(yīng)用和滲透領(lǐng)域很多，諸如手機(jī)、顯示、背光以及通用照明等，但這次展現(xiàn)的材料都是老材料，鮮見新材料。因此，他表示，在新材料的應(yīng)用和性能研究上還可進(jìn)一步挖掘。