中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司(簡(jiǎn)稱“中微”)的MOCVD設(shè)備Prismo D-Blue?于本月舉辦的第十五屆中國(guó)國(guó)際工業(yè)博覽會(huì)(簡(jiǎn)稱“工博會(huì)”)上榮獲銀獎(jiǎng)。該產(chǎn)品于今年3月正式發(fā)布,是此次獲獎(jiǎng)產(chǎn)品中唯一代表半導(dǎo)體外延工藝的MOCVD設(shè)備,該產(chǎn)品技術(shù)對(duì)于高亮度LED的大規(guī)模生產(chǎn)至關(guān)重要。作為生產(chǎn)LED芯片的關(guān)鍵設(shè)備,MOCVD設(shè)備市場(chǎng)一直為歐美企業(yè)所壟斷。具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MOCVD設(shè)備國(guó)產(chǎn)化成功,意味著相關(guān)技術(shù)長(zhǎng)期被國(guó)外壟斷的局面將被打破,國(guó)內(nèi)LED自主產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈也將更加完善。
(圖中人物:上海市科委主任壽子琪,上海藍(lán)光科技有限公司技術(shù)和質(zhì)量管理副總裁郝茂盛博士,中微首席運(yùn)營(yíng)官兼MOCVD產(chǎn)品事業(yè)群總經(jīng)理杜志游博士)
中國(guó)領(lǐng)先的本土LED生產(chǎn)商上海藍(lán)光科技有限公司是中微MOCVD設(shè)備的第一批用戶之一。在祝賀中微獲獎(jiǎng)時(shí),藍(lán)光公司技術(shù)和質(zhì)量管理副總裁郝茂盛博士特別提出:“中微的設(shè)備性能超出了我們的預(yù)期,達(dá)到了MOCVD設(shè)備所應(yīng)具備的高工藝標(biāo)準(zhǔn)。中微MOCVD設(shè)備得此榮譽(yù)乃實(shí)至名歸。我們很樂于看到中微的MOCVD設(shè)備能夠在工博會(huì)上得到肯定,同時(shí)也準(zhǔn)備在我們的LED生產(chǎn)線中能夠更廣泛地使用中微的設(shè)備。”
根據(jù)工博會(huì)評(píng)獎(jiǎng)管理辦法,銀獎(jiǎng)的獲得者必須符合以下條件:第一,屬于全球高科技產(chǎn)業(yè)或裝備制造業(yè)主導(dǎo)領(lǐng)域的新技術(shù)、新產(chǎn)品,達(dá)到當(dāng)代國(guó)際先進(jìn)水平或?qū)儆趪?guó)內(nèi)首創(chuàng);第二,市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力較強(qiáng),在科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)化過程中,經(jīng)濟(jì)效益或社會(huì)效益相當(dāng)顯著;第三,必須擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。只有擁有獨(dú)立自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品才可以參與評(píng)獎(jiǎng)。中微的MOCVD設(shè)備通過層層嚴(yán)格評(píng)審,最終在工博會(huì)銀獎(jiǎng)的獲獎(jiǎng)名單中位列榜首。
中微首席運(yùn)營(yíng)官兼MOCVD產(chǎn)品事業(yè)群總經(jīng)理杜志游博士表示:“我們非常自豪能夠獲此殊榮。Prismo D-BlueTM產(chǎn)品是我們MOCVD團(tuán)隊(duì)長(zhǎng)期堅(jiān)持不懈努力的結(jié)果,同時(shí)也離不開供應(yīng)商和像藍(lán)光這樣優(yōu)質(zhì)客戶的緊密合作和支持。在中微團(tuán)隊(duì)的創(chuàng)新和努力之下所開發(fā)的MOCVD設(shè)備,幫助客戶提高了LED的生產(chǎn)效率,也降低了生產(chǎn)成本,并因此而得到客戶的認(rèn)同和重視?!?/p>
中國(guó)國(guó)際工業(yè)博覽會(huì)創(chuàng)立于1999年,是國(guó)家發(fā)展和改革委員會(huì)、商務(wù)部、工業(yè)和信息化部、科學(xué)技術(shù)部和上海市人民政府等部門共同主辦的最具國(guó)際影響力的工業(yè)博覽會(huì)。
Prismo D-Blue是中微公司的注冊(cè)商標(biāo)。
關(guān)于中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
中微公司致力于為全球半導(dǎo)體和LED芯片制造商提供領(lǐng)先的工藝技術(shù)解決方案。除MOCVD設(shè)備以外,公司目前主要提供等離子體刻蝕設(shè)備和硅通孔刻蝕設(shè)備,用于國(guó)際一線集成電路客戶45納米到20納米及更先進(jìn)的芯片加工制造和先進(jìn)封裝。目前,中微已有200多個(gè)刻蝕反應(yīng)機(jī)臺(tái)在亞洲地區(qū)20多條國(guó)際領(lǐng)先的生產(chǎn)線上運(yùn)行。中微開發(fā)的用于大批量LED外延片生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備也已進(jìn)入生產(chǎn)線運(yùn)行。