雙方計劃攜手開發(fā)在大尺寸基材上沉積有機(jī)層材料的高效技術(shù)

全球半導(dǎo)體行業(yè)領(lǐng)先沉積設(shè)備供應(yīng)商AIXTRON 愛思強(qiáng)股份有限公司與總部位于德國羅伊特林根城的專業(yè)設(shè)備制造商Manz 集團(tuán)正式達(dá)成戰(zhàn)略合作。雙方將攜手研發(fā)高效能的有機(jī)二極管(OLED)生產(chǎn)解決方案，共同把握OLED 技術(shù)的未來市場機(jī)遇。

根據(jù)此項(xiàng)戰(zhàn)略合作，雙方將合作研發(fā)一套利用AIXTRON 愛思強(qiáng)OVPD?專利工藝技術(shù)，實(shí)現(xiàn)在第8 代基板(尺寸為2,300x2,500 mm2)上高效沉積有機(jī)層材料的示范系統(tǒng)。該套全新的示 范系統(tǒng)將首次向業(yè)界展示OVPD?技術(shù)在以合理價格大規(guī)模、高效率生產(chǎn)可用于顯示屏和照明應(yīng)用的有機(jī)發(fā)光二極管方面的優(yōu)勢。

Manz 將帶來其在提純和處理大尺寸玻璃基板，以及研發(fā)和制造大型真空系統(tǒng)領(lǐng)域的豐富經(jīng)驗(yàn)。 高效能的有機(jī)層材料沉積工藝被認(rèn)為是實(shí)現(xiàn)以經(jīng)濟(jì)可行的方式生產(chǎn)大尺寸OLED 設(shè)備的關(guān)鍵， 在此次合作中，AIXTRON 愛思強(qiáng)將進(jìn)一步發(fā)展其OVPD?工藝技術(shù)。通過合作，有望實(shí)現(xiàn)以卓 越的材料使用率和沉積效率生產(chǎn)高度均勻的易伸縮薄膜。

新系統(tǒng)將于未來幾個月內(nèi)在AIXTRON 愛思強(qiáng)的潔凈室進(jìn)行裝配。除了展示OVPD專有工藝 和規(guī)模化生產(chǎn)大尺寸基板的能力，此次合作也將著力滿足市場對新元器件的要求。降低生產(chǎn)成 本和提高產(chǎn)量是成功擴(kuò)大OLED 技術(shù)市場滲透率的必備條件。而這要求必需推出更高效的生產(chǎn) 工藝和使用大尺寸的基材。