經上海市經濟和信息化委員會組織專家評審和上海市復審，SMEE(上海微電子裝備有限公司)等11家企業被認定為2013-2014年度上海市集成電路高端裝備制造企業。

       SMEE(上海微電子裝備有限公司)成立于2002年，主要致力于大規模工業生產的投影光刻機研發、生產、銷售與服務，產品廣泛應用于IC制造與先進封裝、MEMS、3D-TSV、TFT-OLED、LED、Power Devices等制造領域。