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MOCVD測量設(shè)備:化“產(chǎn)能”為“效率”

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2014-04-16 來源:中國半導(dǎo)體照明網(wǎng)瀏覽次數(shù):28

隨著國內(nèi)LED產(chǎn)業(yè)上游外延片、芯片產(chǎn)品的規(guī)模不斷擴大,人們也將目標投降了一個新的問題——外延片的良率。外延片的良率受到許多因素的影響,如果在外延制程中,在線進行檢測,就可以及時調(diào)整生長過程中的溫度等參數(shù),降低外延片的彎曲度,提高產(chǎn)品的一致性,而非在產(chǎn)品生產(chǎn)后經(jīng)過測試才發(fā)現(xiàn)問題,造成材料的浪費。

據(jù)有關(guān)數(shù)據(jù)顯示,2013年全球50%的LED產(chǎn)能都集中在中國大陸和中國臺灣,然而,LayTec AG全球市場與銷售總監(jiān)Tom Thieme表示,產(chǎn)能并不能與效率直接對等。

據(jù)悉,一些國外大廠的批次生產(chǎn)時間約為5小時,尺寸主要為4吋和6吋產(chǎn)品;而國內(nèi)廠商的批次時間則為10小時,尺寸也集中在2吋和4吋為主。因此,LayTec AG也一直關(guān)注中國地區(qū)的LED外延片的良率,并希望幫助企業(yè)降低成本。

目前,大多數(shù)中國地區(qū)大多數(shù)外延片廠商中,都采用紅外測量的方式,但這種方式在某些波段將有可能出現(xiàn)測量誤差。

此外,對于高亮度LED來說,由于其結(jié)構(gòu)復(fù)雜,每一層的均勻性和厚度都有可能影響最后的發(fā)光效率,因而企業(yè)亟待通過更穩(wěn)定、可靠的測量手段,在制程工藝內(nèi)部進行在線分析,從而改善技術(shù)、提高產(chǎn)品良率,并降低成本。

Tom Thieme表示,中國LED企業(yè)目前最重要的是將產(chǎn)能轉(zhuǎn)化為效率,發(fā)展可持續(xù)的LED產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈,才能保持中國作為LED制造大國領(lǐng)先地位。在過去Laytec的發(fā)展中,有60%的營業(yè)收入是來源于LED相關(guān)的設(shè)備,而在這當中,日本、韓國一直是重要的市場,隨著中國MOCVD數(shù)量的增長,以及市場對國產(chǎn)產(chǎn)品性能要求的提高,中國也將成為Laytec重要的市場。

據(jù)了解,早在2012年,LayTec AG就嗅到6吋MOCVD設(shè)備的市場份額將會急速擴大,并適時推出了安裝到反應(yīng)爐中的現(xiàn)地量測儀器,可以確保晶圓的平整度,以提高良率。Tom Thieme表示,該產(chǎn)品可使LED波長的一致性可達到±3納米。預(yù)計,LayTec AG將在2015年實現(xiàn)將波長一致性控制在±1納米的目標,這也將有效幫助LED外延芯片企業(yè)加快提升良率,以縮減成本。

 
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關(guān)鍵詞: mocvd LED產(chǎn)能 Tom Thieme LayTec AG
 
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