2016年3月17日上午,日本DISCO集團會長溝呂木斉等一行訪問清華大學。清華大學副校長薛其坤在微電子所與溝呂木斉進行了會談。
會見中,溝呂木斉介紹了DISCO集團的基本情況以及與清華大學及微電子所的合作關系,薛其坤代表清華大學對DISCO集團對學校的支持表示感謝,雙方還就互相感興趣的問題進行了深入交流,雙方均表示愿意積極推進進一步的合作,加深長期友好關系。此外,清華大學微電子所相關負責人也一同參加了此次會見。
隨后,薛其坤和溝呂木斉共同參加了在清華大學微電子所舉行的DISCO設備捐贈儀式。
訪問期間,溝呂木斉介紹了DISCO企業經營理念,并與清華大學微電子所教授進行了交流。并且,DISCO在清華大學舉辦了首次公開課,介紹半導體的切割及減薄技術。
(從左到右分別為:清華大學微電子所副所長吳華強,DISCO集團全球技術解決方案部經理杉谷哲一,DISCO集團執行董事、亞洲營業本部長則本隆司,DISCO集團會長溝呂木斉,清華大學副校長薛其坤,清華大學微電子所所長魏少軍,清華大學微電子所黨委副書記蔡堅,DISCO中國副總經理周雅萍)
日本DISCO集團是國際知名的半導體設備供應商。成立于1937年,主營業務是半導體精密研削切割設備的制造與銷售。DISCO公司的劃片機、研磨機、拋光機等設備在全球都占有很高的市場份額。
資料顯示,2015年,DISCO向清華大學微電子所捐贈了一套劃片機與水處理設備,用于完善和提升清華大學微納加工平臺的微納加工能力,促進清華大學微納電子學科及相關交叉學科的發展。該套設備于2015年9月在清華大學微納加工平臺安裝調試成功并投入使用,已服務于清華大學精儀系、機械系、材料系、微納電子系以及清華同方等相關單位。