11月16日，圍繞氮化鎵及其它新型寬禁帶半導體電力電子器件技術(shù)設(shè)置的專題分會，由山東大學校長、教授張榮，北京大學物理學院教授、北京大學寬禁帶半導體聯(lián)合研究中心主任張國義，美國弗吉尼亞理工大學教授、美國工程院院士Fred C. LEE聯(lián)合坐鎮(zhèn)，召集了全球頂級專家精英，打造一場氮化鎵等第三代半導體電力電子器件的盛會。會議現(xiàn)場十分火爆，受場地限制，很多與會代表都站著聽完會議，火爆程度可想而知！

　　會上，來自美國Veeco公司Mark Mackee分享了從單晶反應腔技術(shù)到電力電子大批量制造的GaN-Si MOCVD發(fā)展。他表示，我們對于GaN的態(tài)度也是非常熱衷的，幾年之前就做了600伏的GaN的器件的生產(chǎn)，我們把這個器件做了一個發(fā)布。我們雖然做了這樣的一個發(fā)布，但是我們不知道什么時候才會真正來應用這個設(shè)備。

 

　　Mark Mackee表示，我們希望不僅僅是實驗室來使用這樣的設(shè)備，我們希望有一個真正的大規(guī)模的生產(chǎn)和使用。這個時間，我覺得現(xiàn)在還是未定的，什么時候可以實現(xiàn)這種大規(guī)模的使用，而且我們要來推動這樣的一個進程，但是這個過程當中面臨很多的挑戰(zhàn)。

 

　　首先第一個就是成本。成本和硅相比，還是比較昂貴，不太有競爭性。材料的質(zhì)量，它的可靠性，我們還是要繼續(xù)工作，在器件上進行優(yōu)化。然后在此之上，我們來實現(xiàn)更高的可靠性。而且GaN的技術(shù)，它也需要一個更好的生態(tài)的系統(tǒng)，從這個硅的材料轉(zhuǎn)到GaN的材料，而且這中間需要很多的時間來做測試。所以整各方向是很明確的，但是要推動這樣的大量制造的話，還需要很長時間。我們希望在我們的流程當中，能夠推動這樣的一個發(fā)展。因為我們是希望能夠來通過GaN的技術(shù)，來減少成本。

 

　　那么我們怎么樣樣推動呢？首先我們看一下產(chǎn)出。看一下它的細分的電壓和可靠性，它的缺陷的情況，它怎么會影響到現(xiàn)在的缺失。還有單片反應器的成本。我們來講講MOCVD設(shè)備的情況，看一下它的一致性，穩(wěn)定性還有純性、透明性和它的質(zhì)量問題。這些都是可靠性的重要的關(guān)鍵因素。怎么樣來做改進呢？怎么樣把這個產(chǎn)品從實驗室里搬出來，真正地用到我們應用的領(lǐng)域。

 

　　我們現(xiàn)在已經(jīng)做的，就是把硅這個行業(yè)的刻本拿過來，就是看硅這個行業(yè)已經(jīng)做了什么。當然批量的檢測肯定是最先的一種做法，成批的這種處理，我們現(xiàn)在看到單晶的晶體的數(shù)量也會不斷地增加，把它變成這種單晶反應腔的技術(shù)，如何能夠大批量地生產(chǎn)，我們把它放到一個集成的平臺上，這樣才能夠形成低成本大批量的生產(chǎn)。也可以不斷地去提高它的性能、生產(chǎn)的流程，能夠把這樣的一個設(shè)備，性能變得更好。

 

　　其中，單晶反應腔技術(shù)，也是把它從成批的處理、分批的加工的技術(shù)來進行，但是分批加工的話，不能夠滿足我們的需求。我們所作的就是把這樣的單晶片把它變成了單晶反應腔的技術(shù)，是6腔或者是8腔的。

 

　　Mark Mackeeu總結(jié)是表示，我們要進行大配量的生產(chǎn)的話，必須要保證缺陷率非常低，而且要非常大的這種反應腔，把這些不同的反應腔綁定起來，最終我們所有的這個反應腔它保持的性能都能夠很好，而且很高的一致性。我們之前的實驗也看到，結(jié)果也是非常穩(wěn)定的，具體輸入也要非常的干凈，不留雜質(zhì)。同時，在整個過程當中，也希望做一些調(diào)整。我們談過硅和鋁達到這種適宜的溫度，也非常的容易。最后，我們才能夠有設(shè)備和器件最好的性能。最后談一下這個性能，剛才所說的穩(wěn)定性，就是說所有的反應腔當中的穩(wěn)定性是最重要的。如果說有一個集成性的項目的話，能夠把反應腔更好地優(yōu)化，保證最后的產(chǎn)品的性能，減少它的缺陷率，這種批量的反應腔它成本更低。通過這些應用也能夠更加地降低成本。我們因為要和硅進行競爭，所以我們要進行批量生產(chǎn)，可能是要不斷地降低生產(chǎn)成本。

 

　　總結(jié)來說，單晶反應腔技術(shù)對于我們來說，尤其是對于硅行業(yè)來講的我們是從硅行業(yè)學習到了很多的經(jīng)驗和路徑，最終的目標是實現(xiàn)完全的一致性。因為這樣的一個技術(shù)，也是要保證整個反應腔和反應堆它的穩(wěn)定性。還有一個就是要解決微顆粒物的問題，最低成本的單晶片的技術(shù)肯定會給我們帶來最大的這種生產(chǎn)率。根據(jù)錄音整理，如有出入請您諒解！