2017新年伊始，北方華創自主研發的Booster A630單片退火設備，成為首臺搬入上海華力微電子二廠的高端電子工藝裝備。

 

　　Booster A630設備，應用于集成電路后段制程中硅片表面清潔處理、K值恢復等工藝。目前，該產品憑借工藝溫度均勻性高、顆粒控制力強、處理時間短、單位產能大等特點，獲得了客戶的良好評價。

 

 

 

　　Booster A630設備推出以來，先后進入中芯國際（上海）、中芯國際（北京）、華力微電子等國內主流集成電路制造廠商，參與驗證及生產，累計流片數量逾60萬片，積累了良好的技術指標和穩定的運行記錄，已成為公司量產機臺。未來公司將積極謀求與更多客戶合作的機會，把握產業發展的契機。