超寬帶隙半導(dǎo)體的研究契合國(guó)家發(fā)展戰(zhàn)略,對(duì)于我國(guó)搶占技術(shù)制高點(diǎn)、掌握國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)主導(dǎo)權(quán)具有重要意義,尤其是以金剛石為代表的超寬禁帶半導(dǎo)體材料具有獨(dú)特優(yōu)點(diǎn),是對(duì)第三代寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的完善和堅(jiān)強(qiáng)補(bǔ)充。
超寬帶半導(dǎo)體材料具有更高的禁帶寬度、熱導(dǎo)率以及材料穩(wěn)定性,在新一代深紫外光電器件、高壓大功率電力電子器件等意義重大的應(yīng)用領(lǐng)域具有顯著的優(yōu)勢(shì)和巨大的發(fā)展?jié)摿Α?/div>
2017年11月1日-3日,第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在中國(guó)地區(qū)的年度盛會(huì),2017國(guó)際第三代半導(dǎo)體論壇(IFWS2017)將在北京·順義·首都機(jī)場(chǎng)希爾頓酒店隆重舉行。并與第十四屆中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體照明論壇(SSLCHINA 2017)同期舉行。本屆會(huì)議由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟和中關(guān)村科技園區(qū)順義園管理委員會(huì)主辦,得到科技部、發(fā)改委、工信部、北京政府等相關(guān)部門大力支持。
作為全球性、高層次的綜合性論壇。論壇全面覆蓋行業(yè)基礎(chǔ)研究、襯底外延工藝、電力電子器件、電路與模塊、下游應(yīng)用的創(chuàng)新發(fā)展,提供全球范圍的全產(chǎn)業(yè)鏈合作平臺(tái)。
其中,“超寬禁帶半導(dǎo)體及其它新型半導(dǎo)體材料”分會(huì)作為論壇六大技術(shù)分會(huì)之一,將重點(diǎn)關(guān)注超寬禁帶半導(dǎo)體材料的制備、工藝技術(shù)、關(guān)鍵設(shè)備及半導(dǎo)體器件應(yīng)用,聚焦超寬禁帶半導(dǎo)體材料及器件應(yīng)用發(fā)展的新技術(shù)、新應(yīng)用和新趨勢(shì),積極推動(dòng)我國(guó)超寬禁帶半導(dǎo)體材料和器件應(yīng)用的發(fā)展。
以金剛石、氧化鎵、氮化鋁、氮化硼等為代表的超寬禁帶半導(dǎo)體材料的研究和應(yīng)用,近年來(lái)不斷獲得技術(shù)的突破。分會(huì)著重研討超寬禁帶半導(dǎo)體材料的制備、工藝技術(shù)、關(guān)鍵設(shè)備及半導(dǎo)體器件應(yīng)用等內(nèi)容,旨在搭建產(chǎn)業(yè)、學(xué)術(shù)、資本的高質(zhì)量交流平臺(tái),共同探討超寬禁帶半導(dǎo)體材料及器件應(yīng)用發(fā)展的新技術(shù)、新趨勢(shì),積極推動(dòng)我國(guó)超寬禁帶半導(dǎo)體材料和器件應(yīng)用的發(fā)展。
分會(huì)邀請(qǐng)國(guó)內(nèi)外知名專家參加本次會(huì)議,呈現(xiàn)超寬帶半導(dǎo)體及其它新型寬禁帶半導(dǎo)體材料與器件研究應(yīng)用的最新迚展。其中,中科院微電子所教授、中國(guó)科學(xué)院院士劉明和廈門大學(xué)校長(zhǎng),南京大學(xué)教授張榮將聯(lián)合坐鎮(zhèn)擔(dān)任分會(huì)主席。
其中,劉明院士長(zhǎng)期致力于微電子科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的研究,在存儲(chǔ)器模型機(jī)理、材料結(jié)構(gòu)、核心共性技術(shù)和集成電路的微納加工等方面做出了系統(tǒng)、創(chuàng)造性貢獻(xiàn)。代表性成果包括:建立了阻變存儲(chǔ)器(RRAM)物理模型,提出并實(shí)現(xiàn)高性能RRAM和集成的基礎(chǔ)理論和關(guān)鍵技術(shù)方法,產(chǎn)生重要國(guó)際影響。拓展了新型閃存材料和結(jié)構(gòu)體系,提出新的可靠性表征技術(shù)、失效模型和物理機(jī)理,為存儲(chǔ)器產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供關(guān)鍵理論和技術(shù)基礎(chǔ)。她發(fā)表SCI收錄論文250多篇,SCI他引(劉明或合作者均視為自引)超過(guò)2800次,6篇論文入選ESI高被引論文榜,兩項(xiàng)工作列入2013年ITRS(國(guó)際半導(dǎo)體發(fā)展路線圖)、多項(xiàng)工作作為典型進(jìn)展被寫入15本著作和40篇綜述中。在本領(lǐng)域重要國(guó)際會(huì)議做邀請(qǐng)報(bào)告30多次。授權(quán)發(fā)明專利180件(含美國(guó)授權(quán)專利7件),主要專利轉(zhuǎn)讓/許可到多家重要集成電路企業(yè)。
同時(shí),西安交通大學(xué)王宏興,山東大學(xué)教授、晶體材料研究所所長(zhǎng)、晶體材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任陶緒堂,國(guó)家杰出青年基金和中科院“百人計(jì)劃”獲得者、同濟(jì)大學(xué)教授徐軍將擔(dān)任分會(huì)委員,共同為分會(huì)提供堅(jiān)持的支持。其中,王宏興教授在III-V族半導(dǎo)體薄膜外延生長(zhǎng)及發(fā)光器件,大面積金剛石襯底及高質(zhì)量金剛石薄膜外延生長(zhǎng),碳納米場(chǎng)致發(fā)射陰極、場(chǎng)致發(fā)射光源及其他場(chǎng)致發(fā)射電子器件,MOCVD設(shè)計(jì)開發(fā)、特殊直流CVD設(shè)計(jì)開發(fā)、微波等離子體CVD的設(shè)計(jì)開發(fā)等領(lǐng)域做出了許多創(chuàng)新性工作。在Carbon、Applied Physics Letters、Scientific Reports、Applied Surface Science、Diam. Relat. Mater等期刊發(fā)表SCI論文70余篇,申請(qǐng)和獲授權(quán)的中國(guó)、日本、美國(guó)、PCT專利100余項(xiàng)。目前研究領(lǐng)域包括寬禁帶半導(dǎo)體高溫、高效、大功率微波器件、電力電子器件、發(fā)光器件的研究;大面積、高質(zhì)量寬禁帶半導(dǎo)體襯底的研究;電子器件級(jí)高質(zhì)量寬禁帶半導(dǎo)體單晶薄膜及摻雜方法的研究;基于寬禁帶半導(dǎo)體的傳感器和成像探測(cè)器的研究;新型化學(xué)氣相沉積(CVD)系統(tǒng)等關(guān)鍵設(shè)備的研制;金剛石MEMS結(jié)構(gòu)與器件等。
徐軍教授主要從事激光與光學(xué)晶體研究,包括激光晶體、超寬禁帶半導(dǎo)體晶體、晶體生長(zhǎng)科學(xué)與技術(shù)等。作為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人,先后主持國(guó)家級(jí)課題20余項(xiàng),是國(guó)家“九五”、“十五”國(guó)家“863”新材料項(xiàng)目、中科院重大項(xiàng)目和國(guó)防重大專項(xiàng)的項(xiàng)目負(fù)責(zé)人。發(fā)表論文500余篇,申請(qǐng)發(fā)明專利數(shù)十項(xiàng)。出版了《激光材料科學(xué)與技術(shù)前沿》《摻鐿激光晶體材料》等6部著作,并先后獲得2003年國(guó)家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)、2001年和2004年上海市科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)等多個(gè)獎(jiǎng)項(xiàng)。
同時(shí),廣西大學(xué)物理科學(xué)與工程技術(shù)學(xué)院杰出教授馮哲川、電子科技大學(xué)教授劉興釗及日本Novel Crystal Technology公司總裁Akito KURAMATA等業(yè)界知名專家將做特邀報(bào)告,分享各自領(lǐng)域的最新研究進(jìn)展。其中,馮哲川教授從事于第三代半導(dǎo)體研發(fā),碳化硅已33年和III族氮化物已21年,主要研究方向和領(lǐng)域著重于寬能隙半導(dǎo)體的多學(xué)科材料研究及奈米器件制程及研發(fā),金屬氧化物化學(xué)氣相外延和其他技術(shù)長(zhǎng)晶及研究,表面科學(xué),同步輻射,多學(xué)科檢測(cè)技術(shù)在光學(xué)/電子材料/結(jié)構(gòu)的應(yīng)用,計(jì)算機(jī)理論仿真寬能隙半導(dǎo)體及奈米結(jié)構(gòu)之光學(xué)和材料特性。
此外,還有來(lái)自電子科技大學(xué)等眾多國(guó)內(nèi)外高校、科研機(jī)構(gòu)的嘉賓將帶來(lái)更多的精彩紛呈的報(bào)告。
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