2017年11月1日-3日,第十四屆中國國際半導體照明論壇(SSLCHINA2017)暨 2017 國際第三代半導體論壇(IFWS 2017)在北京順義隆重召開。論壇由國家半導體照明工程研發及產業聯盟、第三代半導體產業技術創新戰略聯盟、北京市順義區人民政府主辦,中關村科技園區順義園管理委員會、北京半導體照明科技促進中心和北京麥肯橋新材料生產力促進中心有限公司承辦。論壇同時得到了科技部、發改委、國標委和北京市科委等主管部門的大力支持。
11月2日下午,“超寬禁帶半導體及其它新型半導體材料”分會如期舉行。分會重點關注超寬禁帶半導體材料的制備、工藝技術、關鍵設備及半導體器件應用,聚焦超寬禁帶半導體材料及器件應用發展的新技術、新應用和新趨勢,積極推動我國超寬禁帶半導體材料和器件應用的發展。
日本Novel Crystal Technology公司總裁Akito KURAMATA,廣西大學杰出教授、臺灣大學榮退教授馮哲川, 西安交通大學教授王宏興,中國科學院微電子研究所研究員龍世兵,山東大學教授陶緒堂,鄭州大學物理工程學院院長、教授單崇新,河北半導體研究所專用集成電路國家級重點實驗室高級工程師王晶晶,山東大學/濟南中烏新材料有限公司王希瑋等來自國內外的重量級嘉賓出席并帶來了精彩報告。中科院微電子所教授,中國科學院院士劉明與廈門大學校長、南京大學教授張榮共同主持了本屆分會。
鄭州大學物理工程學院院長、教授單崇新介紹了高質量金剛石的CVD生長。金剛石是自然界產生的最堅硬的一種材料,因為它極高的硬度,一直被當做是打磨的工具,切割的工具等,在不同的方面都有應用,日常生活以及工業生產中都能用到金剛石。除了高硬度以外,金剛石還有很多其他獨特的特點,很適合當做半導體材料,比如非常高的帶隙、電壓、非常高的熱傳導性等,這些特點使得金剛石一直被認為是重要的,也是非常有潛力的下一代半導體器件的原料。把金剛石材料轉變成金剛石器件還有很長的路要走,也需要很多高品質的材料,這是非常基本的一步。
金剛石硬度非常高,在單純利用它的硬度的時候,雜質的含量不是那么重要,但是如果要制造成為半導體器件,純度非常重要,必須要有非常高品質的金剛石晶元和晶體。報告中,單崇新介紹了生長高純度金剛石的研究成果。他表示,為了實現高品質的金剛石材料,必須要使用CVD的生長方式,其團隊研制的單晶體的晶片,品質經過了評估,達到了非常高的程度。
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