2017年11月1日-3日，第十四屆中國國際半導體照明論壇（SSLCHINA2017）暨 2017 國際第三代半導體論壇（IFWS 2017）在北京順義隆重召開。論壇由國家半導體照明工程研發及產業聯盟、第三代半導體產業技術創新戰略聯盟、北京市順義區人民政府主辦，中關村科技園區順義園管理委員會、北京半導體照明科技促進中心和北京麥肯橋新材料生產力促進中心有限公司承辦。論壇同時得到了科技部、發改委、國標委和北京市科委等主管部門的大力支持。

 

　　11月2日下午，SSLCHINA 2017之材料與裝備技術分會如期舉行。中微半導體設備（上海）有限公司、北京北方華創微電子裝備有限公司、德國愛思強股份有限公司、維易科精密儀器國際貿易（上海）有限公司為本次分會提供了協辦支持。

 

　　美國密歇根大學教授Pei-Cheng KU，挪威科學技術大學教授、挪威科學技術院院士Helge WEMAN，北京大學教授陳志忠、南昌大學教授劉軍林、中微(上海)有限公司首席技術員胡建正、北京北方華創微電子裝備有限公司第一刻蝕BU副總經理劉利堅，德國愛思強股份有限公司副總裁Michael HEUKEN、美國維易科精密儀器有限公司市場營銷總監Mark MCKEE等來自中外的強勢力量聯袂帶來精彩報告。中科院半導體研究所研究員、中科院半導體照明研發中心副主任王軍喜，河北工業大學教授畢文剛共同主持了本次分會。

 

　　會上，北京北方華創微電子裝備有限公司第一刻蝕BU副總經理劉利堅介紹了LED工業中的干法刻蝕工藝技術和關鍵設備。劉利堅長期以來從事高端微電子裝備設計開發工作，對于等離子體刻蝕和PECVD設備的硬件設計和工藝應用有豐富經驗。劉利堅介紹了等離子刻蝕的一些技術問題，并具體分享了幾種刻蝕工藝技術難點、解決方式，以及北方華創在相關工藝方面取得研究成果。

 

　　其中，分析了LED領域會用到幾種典型刻蝕結果的剖面，劉利堅表示，從分類上來講，LED用的絕大部分刻蝕都屬于增加離子的這種結構。他同時介紹了北方華創在LED領域所做一些刻蝕工作，以及一些常見缺陷的處理及解決方案等。

 

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