2017年11月1日-3日，第十四屆中國國際半導體照明論壇（SSLCHINA2017）暨 2017 國際第三代半導體論壇（IFWS 2017）在北京順義隆重召開。論壇由國家半導體照明工程研發及產業聯盟、第三代半導體產業技術創新戰略聯盟、北京市順義區人民政府主辦，中關村科技園區順義園管理委員會、北京半導體照明科技促進中心和北京麥肯橋新材料生產力促進中心有限公司承辦。論壇同時得到了科技部、發改委、國標委和北京市科委等主管部門的大力支持。

 

　　11月2日下午，SSLCHINA 2017之材料與裝備技術分會如期舉行。中微半導體設備（上海）有限公司、北京北方華創微電子裝備有限公司、德國愛思強股份有限公司、維易科精密儀器國際貿易（上海）有限公司為本次分會提供了協辦支持。

 

　　美國密歇根大學教授Pei-Cheng KU，挪威科學技術大學教授、挪威科學技術院院士Helge WEMAN，北京大學教授陳志忠、南昌大學教授劉軍林、中微(上海)有限公司首席技術員胡建正、北京北方華創微電子裝備有限公司第一刻蝕BU副總經理劉利堅，德國愛思強股份有限公司副總裁Michael HEUKEN、美國維易科精密儀器有限公司市場營銷總監Mark MCKEE等來自中外的強勢力量聯袂帶來精彩報告。中科院半導體研究所研究員、中科院半導體照明研發中心副主任王軍喜，河北工業大學教授畢文剛共同主持了本次分會。

 

　　作為MOCVD設備的巨頭之一，美國維易科精密儀器有限公司市場營銷總監Mark MCKEE帶來了關于MOCVD最新市場及技術進展的報告。智能照明、傳感技術，電腦顯示器、云計算、激光、太陽能技術、園藝等應用領域的發展推動著MOCVD技術不斷向前發展，同時市場增長表現強勢。其中，微型LED顯示應用方面有極大的增長，并且有非常大的潛力，隨著技術壁壘的突破，會有一個加速的增長，包括手機、電視、智能手表等都會用到微型LED顯示，下一代LED技術非常讓人期待。

 

　　微型LED顯示的價格和成本需要繼續下降才能得到更好地應用，Mark MCKEE表示，非常希望以最低的成本得到最高的性能表現，一方面要提高效率，在一些關鍵領域發力，比如均一性方面需要和所有的供應商合作，確保生產出來的微型LED能滿足市場的需求和要求。還需要增加生產線和提高設備的效率，才能以量產的方式降低價格，推動行業進一步發展。

 

　　從MOCVD設備來看，成本既有資本的上漲、耗材成本、也有人力等成本，未來需要實現自動化，才可以更好地降低成本。同時還要減少生產過程中的損耗和故障率，讓生產的可重復性大幅度提高。結合薄膜的量產問題，Mark MCKEE指出，不同領域不同應用，對參數的要求不一樣，指標有高有低，會有差別，因此，考慮缺陷等問題時，需要看一下對應的應用領域，才能進行精準的確定。

 

　　此外，設備的均一性非常重要，Mark MCKEE具體分享了當前MOCVD生產線技術方面的改進，并展示了關于微型LED的新技術。Mark MCKEE表示，微型LED展現了非常強的增長趨勢，未來5-7年將會逐步占據市場份額，維易科有量產的解決方案和技術，也正在研究更加大型的生產線。隨著技術的不斷成熟改進，會有不同有獨特技術的公司出現，未來維易科會積極與其他公司合作。

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