中微半導體設備（上海）有限公司（以下簡稱“中微”）今日宣布，中國福建省高級人民法院同意了中微針對維易科精密儀器國際貿易（上海）有限公司（以下簡稱“Veeco上海”）的禁令申請，該禁令禁止Veeco上海進口、制造、向任何第三方銷售或許諾銷售侵犯中微第CN 202492576號專利的任何化學氣相沉積裝置和用于該等裝置的基片托盤。該禁令涵蓋TurboDisk EPIK 700、EPIK 700 C2 和EPIK 700 C4機型的MOCVD設備，以及在該等MOCVD設備中使用的基片托盤。中微認為Veeco EPIK 868機型MOCVD設備的旋轉軸和基片托盤鎖定同步裝置也使用了中微涉案專利技術，因此該裁定也涵蓋了Veeco的EPIK 868機型及在該設備中使用的基片托盤。
該禁令立即生效執行，不可上訴。這一嚴格的禁令充分表明，Veeco上海公然侵犯了中微的知識產權， Veeco上海不尊重中微的知識產權。
中微于2017年7月13日向福建省高級人民法院正式起訴 Veeco上海專利侵權，申請對Veeco上海發布永久禁令，并賠償中微經濟損失1億元人民幣以上。
與該訴訟有關，在禁令頒布之前，中微已經取得了一在先勝利。在今年7月中微提起訴訟后，Veeco上海向國家知識產權局專利復審委員會（以下簡稱“專利復審委”）提交專利無效宣告請求，主張中微專利無效。另外，還有一位自然人也對該涉案專利提起了無效宣告請求。針對兩個請求，專利復審委先后分別開庭審理，并于2017年11月24日駁回了兩個無效宣告請求，確認中微專利有效。
中微為這項關鍵技術投入了大量的研發費用和知識產權保護。中微率先開發了這項技術、布局了一系列相關專利申請保護其創新性并在MOCVD設備上應用了這項技術，中微MOCVD設備已在國內眾多LED生產線上投入量產。Veeco美國公司之后跟隨中微的步伐在其MOCVD設備中采用相同的鎖定同步技術以提高設備性能。Veeco美國公司針對中微該已獲專利授權的鎖定同步技術也提交了相近的專利申請，并使用于其產品上，由此侵犯了中微的專利權。
“法院的禁令裁定和專利復審委的決定都毫無疑問地確認了中微技術的獨特創新性，并證明中微擁有全面的、強有力的和高價值的專利投資組合。” 中微資深副總裁、首席運營官兼MOCVD產品事業部總經理杜志游博士說：“我們非常高興地看到法院作出這樣的裁定。中微一貫嚴肅認真地保護知識產權，絕不容忍任何侵犯中微知識產權的行為。我們將嚴厲打擊侵犯中微知識產權的行為，全力保護我們的知識產權投資。”
杜志游博士繼續表示：“作為一家向國際一流芯片、LED及功率器件生產廠商提供微觀加工高端設備的供應商，中微一直高度重視知識產權保護。中微自2004年成立以來，一向獨立自主研發創新技術，為全球客戶提供服務。因此，十多年來，每當經受國內外的知識產權訴訟挑戰時，中微都能積極捍衛并始終立于不敗之地。我們充分尊重客戶和競爭對手的知識產權，也期待我們的知識產權能得到同樣的尊重。”
另一進展是，中微將于美國當地時間2017年12月8日向美國專利商標局（USPTO）專利審判和上訴委員會（PTAB）遞交無效Veeco美國專利（US 6,726,769）的請求。該項關于可分離基片托盤技術的專利申請于2001年，此前被Veeco 美國公司用于在美國起訴中微的基片托盤供應商專利侵權。中微深信，Veeco美國的涉案專利的技術早在60年代起就被大量前置專利明確地公開，因此該專利不符合專利法要求，應屬無效。中微除了在美國對該涉案專利提起專利無效請求，還對其中國同族專利和韓國同族專利均提交了專利無效請求。
針對Veeco美國起訴中微供應商的的另一個涉案美國專利（US 6,506,252），中微正在準備無效宣告材料，將很快向美國專利審判和上訴委員會提起專利無效請求。
中微董事長兼首席執行官尹志堯博士說：“我們有信心中微將會贏得對Veeco上海的專利訴訟，Veeco上海將為其自2014年銷售EPIK 700 系列MOCVD設備的侵權行為付出巨大代價。此外，我們也深信我們的供應商最終會贏得在美國的專利訴訟。”
尹志堯博士進一步指出：“中微公司是一家創新性公司，專長于為客戶提供突破性的技術，從而提升我們客戶的競爭優勢。中微的產品因其獨特的創新性和價值在市場上獲得成功。我們更愿意集中精力在創新產品的研發和為客戶提供優質服務上，而不是浪費時間和資源在法律訴訟上。因此，我們完全愿意和Veeco達成有利于雙方的解決方案并努力實現這一目標。”
關于中微半導體設備有限公司
中微公司致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領先的加工設備和工藝技術解決方案。中微通過創新驅動自主研發的等離子體刻蝕設備和硅通孔刻蝕設備已在國際主要芯片制造和封測廠商的生產線上廣泛應用于45納米到7納米及更先進的加工工藝和最先進的封裝工藝。目前，正在亞洲地區40條國際領先的生產線上運行的中微反應臺（包括介質刻蝕、TSV和MOCVD）已將近800個。中微開發的用于LED和功率器件外延片生產的MOCVD設備也已在客戶生產線投入量產。
