MOCVD技術前沿研究進展如何？

 

　　金屬有機化學氣相淀積（MOCVD）技術自二十世紀六十年代提出以來，取得了飛速進步，已經廣泛應用于制備氮化物、砷化物、磷化物、碲化物、氧化物等重要半導體材料及其量子結構，極大地推動了光電器件和電子器件的發展及產業化，也成為半導體超晶格、量子阱、量子線、量子點結構材料與器件研究的關鍵技術。未來MOCVD技術的發展將會給化合物半導體科學技術和產業發展帶來更為廣闊的前景。

 

　　同時，MOCVD是LED生產過程中的核心裝備，是決定LED產業發展技術水平的關鍵因素。由于技術含量高，MOCVD設備站在了LED行業價值鏈的頂端，MOCVD設備是專利技術密集型產業，而其核心技術大多掌握在美國Veeco和德國Aixtron等國外企業手中，并且多年以來這兩家企業占領了全球90%以上的MOCVD設備市場，其技術水平、規模效應、品牌效應、客戶資源等都達到了相當的高度。

 

　　高端裝備與核心裝置是“大國重器”，是我國成為制造強國的基礎。國產半導體設備廠商近年來不斷加大自主研發力度，半導體設備國產化比重逐步提升，一些行業龍頭企業也正迎來發展拐點。特別是近年來國產化的大力推進，國產MOCVD設備開始贏得了國內LED芯片廠商的認可。國際設備廠商在中國市場的份額逐漸被國產設備擠壓，并且在技術上也逐漸被國內設備廠商趕上。

 

　　此外，《中國智能制造“十三五”規劃》中提出十大重點任務，其中一個就是加快智能制造裝備發展，攻克關鍵技術裝備，提高質量和可靠性，推進在重點領域的集成應用。政府還要推動重點領域智能轉型，在《中國制造2025》十大重點領域試點建設數字化車間/智能工廠，在傳統制造業推廣應用數字化技術、系統集成技術、智能制造裝備。到2020年，我國將建立完善的智能制造裝備產業體系，實現裝備的智能化及制造過程的自動化。

 

　　MOCVD作為半導體產業最為核心的重大裝備之一，其技術進步與裝備智能化、國產化將成為產業界共同關注的話題。當前，MOCVD前沿研究技術進展如何，裝備國產化及核心工藝又有哪些新突破？此刻，與MOCVD相關的“政產學研用”各界代表們都需要認真了解一下。或許，全國MOCVD學術會議是最佳選擇！

 

　　如何破解“卡脖子”的MOCVD技術？

 

　　習近平總書記曾說過：“我們的科技創新同國際先進水平還有差距，當年我們依靠自力更生取得巨大成就。現在國力增強了，我們仍要繼續自力更生，核心技術靠化緣是要不來的”。“高端科技就是現代的國之利器。近代以來，西方國家之所以能稱雄世界，一個重要原因就是掌握了高端科技。真正的核心技術是買不來的。”

 

　　“一代材料，一代器件，一代工藝，一代裝備”。正值中美貿易戰糾葛時期，核心技術受制于人的中興成了全球熱議焦點。以此為鑒，MOCVD技術及重大裝備如果不能與世界頂尖水平保持一致， 如果核心元器件嚴重依賴外國，供應鏈的“命門”掌握在別人手里，我國半導體產業將面臨更大的損失。所以，新材料、新技術及新應用不斷涌現的新時代，產業如何順應趨勢發展？科研人員如何緊跟領域前沿做好新材料、新器件、新工藝和新裝備的研發，就要在關鍵領域、卡脖子的地方要下大功夫。

 

　　全國MOCVD學術會議作為MOCVD技術和化合物半導體材料器件研發交流的平臺，自1989年第一屆會議舉辦以來，每兩年一屆至今已經成功舉辦十四屆，會議規模和影響力越來越大，成為全國學術界和產業界廣泛參與的學術盛會。今年第十五屆全國MOCVD學術會議將定于2018年8月21-24日在紅色文化聞名中外的江西·井岡山舉行。大會將圍繞“MOCVD與智能光電”主題，深入探討“卡脖子”的半導體超晶格、量子阱、量子線、量子點結構材料與器件研究的關鍵技術，探索MOCVD技術及裝備在光電器件和電子器件的發展及產業化應用。

 

　　屆時，來自祖國大陸和港澳臺地區的與會專家學者、工程技術人員和企業家將在MOCVD生長機理與外延技術、MOCVD設備（整機/部件/配件/原材料）、材料結構與物性、光電子器件、電力電子器件、微波射頻器件、LED智能照明與物聯網、半導體激光器、光伏/光探測器、可見光通信技術等領域開展廣泛交流，了解發展動態，促進相互合作。這次會議必將對我國MOCVD學術研究、技術進步及第三代半導體產業發展起到有力的推動作用。

 

　　三十年的傳承與積淀，兩年一次的相聚與暢談，是重逢，更是見證！2018年8月21-24日，讓我們相聚井岡山紅色革命根據地，聊一聊“卡脖子”的技術！更多詳情請查看第十五屆全國MOCVD學術會議官網：http://www.mocvd.org.cn/