聚焦MOCVD與智能光電 共話半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)新發(fā)展
第十五屆全國MOCVD學(xué)術(shù)會議在井岡山盛大召開
第十五屆全國MOCVD學(xué)術(shù)會議在井岡山盛大召開
三十年的傳承與積淀,兩年一次的相聚與暢談,是重逢,更是見證!8月22日,第十五屆全國MOCVD學(xué)術(shù)會議在紅色革命根據(jù)地井岡山衡山大酒店盛大開幕。
中國科學(xué)院院士、西安電子科技大學(xué)郝躍教授,中國科學(xué)院院士、中科院微電子所劉明研究員,MOCVD技術(shù)的開拓者之一、美國科學(xué)院院士佐治亞理工學(xué)院Russell Dupuis教授,科技部高新司原司長、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟顧問委員會常務(wù)副主任趙玉海先生,科技部高新司副司長曹國英先生,科技部高技術(shù)中心副主任卞曙光先生,科技部高技術(shù)中心材料處處長史冬梅女士,科技部高新司材料處調(diào)研員李志農(nóng)先生,國家自然科學(xué)基金委信息四處處長潘慶先生,江西省科技廳副廳長趙金城先生,中國有色金屬學(xué)會副理事長兼秘書長張洪國先生,中國有色金屬學(xué)會常務(wù)副秘書長金銳先生,國家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟秘書長、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟理事長吳玲女士,廈門大學(xué)校長張榮教授,南昌大學(xué)校長周創(chuàng)兵教授,半導(dǎo)體照明聯(lián)合創(chuàng)新國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任、中科院半導(dǎo)體所李晉閩研究員,發(fā)光學(xué)及應(yīng)用國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任,中科院長春光機(jī)物理所申德振研究員,北京大學(xué)沈波教授,山東大學(xué)徐現(xiàn)剛教授,中科院蘇州納米所徐科研究員,此外還有葛惟昆教授、范廣涵教授、杜國同教授、張國義教授、王向武教授等等一批業(yè)界資深教授和一大批優(yōu)秀中青年學(xué)者出席本次會議。來自MOCVD技術(shù)領(lǐng)域國內(nèi)外頂級專家、機(jī)構(gòu)嘉賓、學(xué)者、企業(yè)家代表500余人參與本次學(xué)術(shù)盛會。大會開幕式由南昌大學(xué)副校長江風(fēng)益教授主持。
南昌大學(xué)副校長江風(fēng)益教授主持開幕式
“一代材料,一代器件,一代工藝,一代裝備”。古往今來,國與國之爭,實(shí)質(zhì)是裝備制造業(yè)之爭。裝備強(qiáng)則國強(qiáng)。當(dāng)前階段,高端裝備與核心裝置是“大國重器”,是我國成為制造強(qiáng)國的基礎(chǔ)。中美貿(mào)易戰(zhàn)開始以來,高端裝備之爭更是上升為大國之間博弈的核心和不可或缺的利器。
尤其在《中國智能制造“十三五”規(guī)劃》中提出十大重點(diǎn)任務(wù),其中一個就是加快智能制造裝備發(fā)展,攻克關(guān)鍵技術(shù)裝備,提高質(zhì)量和可靠性,推進(jìn)在重點(diǎn)領(lǐng)域的集成應(yīng)用。政府還要推動重點(diǎn)領(lǐng)域智能轉(zhuǎn)型,在《中國制造2025》十大重點(diǎn)領(lǐng)域試點(diǎn)建設(shè)數(shù)字化車間/智能工廠,在傳統(tǒng)制造業(yè)推廣應(yīng)用數(shù)字化技術(shù)、系統(tǒng)集成技術(shù)、智能制造裝備。到2020年,我國將建立完善的智能制造裝備產(chǎn)業(yè)體系,實(shí)現(xiàn)裝備的智能化及制造過程的自動化。
本屆會議由國家科學(xué)技術(shù)部指導(dǎo),江西省科學(xué)技術(shù)廳支持,中國有色金屬學(xué)會主辦,南昌大學(xué)、國家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(CSA)、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)、國家硅基LED工程技術(shù)研究中心、半導(dǎo)體照明聯(lián)合創(chuàng)新國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室共同承辦,北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司協(xié)辦,中微半導(dǎo)體、北方華創(chuàng)微電子、AIXTRON SE、隆興達(dá)科技、昂坤視覺、華邦化學(xué)、中鎵半導(dǎo)體、中晟光電、馬爾文帕納科、德儀、先普半導(dǎo)體、上海匯析、蘇州納維科技、阿美特克、維易科、中拓光電、頤光科技、桂林雷光等企業(yè)積極參與。會議圍繞“MOCVD與智能光電”這一主題能夠開展廣泛交流,了解發(fā)展動態(tài),促進(jìn)相互合作。
開幕式現(xiàn)場
江風(fēng)益教授在介紹與會嘉賓代表時特別介紹,其中有一位業(yè)界資深教授自第一屆全國MOCVD學(xué)術(shù)會議一直參加至今,他就是國內(nèi)最先從事氮化鎵藍(lán)色LED發(fā)光材料研究(1972年起)和MOCVD技術(shù)研究(1982年起)的著名光電子專家,是中國LED研究應(yīng)用的開拓者——范廣涵教授。三十年的每次重逢,也是見證者。正是有這樣諸多業(yè)界資深教授的參與和推動,見證了我國MOCVD技術(shù)與裝備的發(fā)展。
南昌大學(xué)劉軍林教授
南昌大學(xué)劉軍林教授代表組委會介紹了本屆會議籌辦情況,他介紹說,本屆會議為期三天,包含開閉幕式兩場大會,激光器材料與器件、LED及探測器材料與器件、電力電子器件及其他器件及應(yīng)用四個主題分會。其中邀請報(bào)告42個,口頭報(bào)告73個。根據(jù)注冊統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示參會代表超過500人,來自國內(nèi)外60余個單位機(jī)構(gòu)。本屆會議參收到論文投稿200余篇,經(jīng)過專家評審有100篇優(yōu)秀論文遴選為會議現(xiàn)場POSTER展示。
中國有色金屬學(xué)會副理事長兼秘書長張洪國,南昌大學(xué)校長周創(chuàng)兵教授,國家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟秘書長、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟理事長吳玲女士,江西省科技廳副廳長趙金城先生,國家自然科學(xué)基金委信息四處處長潘慶先生和科技部高新司副司長曹國英先后為大會致開幕詞。
中國有色金屬學(xué)會副理事長兼秘書長張洪國
張洪國秘書長表示,MOCVD技術(shù)廣泛應(yīng)用于制備氮化物、砷化物、磷化物、碲化物、氧化物等重要半導(dǎo)體材料及其量子結(jié)構(gòu),極大地推動了光電器件和電子器件的發(fā)展及產(chǎn)業(yè)化,也成為半導(dǎo)體超晶格、量子阱、量子線、量子點(diǎn)結(jié)構(gòu)材料與器件研究的關(guān)鍵技術(shù)。“全國MOCVD學(xué)術(shù)會議”作為MOCVD技術(shù)和化合物半導(dǎo)體材料器件研發(fā)交流的平臺,自1989年第一屆會議舉辦以來,已經(jīng)成功舉辦了十四屆,會議規(guī)模和影響力越來越大,成為全國學(xué)術(shù)界和產(chǎn)業(yè)界廣泛參與的學(xué)術(shù)盛會。希望與會專家及青年學(xué)者、企業(yè)家們能通過會議了解發(fā)展動態(tài),促進(jìn)相互合作。這次會議必將對我國MOCVD學(xué)術(shù)研究、技術(shù)進(jìn)步及第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展起到有力的推動作用。
南昌大學(xué)校長周創(chuàng)兵教授
周創(chuàng)兵教授致辭時表示,南昌大學(xué)MOCVD技術(shù)發(fā)展已有23年的歷史。由于得到科技部、工信部、教育部、國家基金委等中央政府部門和江西省、南昌市、南昌高新區(qū)的大力支持,我校MOCVD事業(yè)得到了快速發(fā)展。從MOCVD設(shè)備的設(shè)計(jì)與制造、材料生長、芯片制作、器件封裝、到產(chǎn)品應(yīng)用和性能表征這6大塊,我校均擁有一流的硬件條件和良好的技術(shù)積累。我校把MOCVD設(shè)備與工藝進(jìn)行深度融合,把硅和氮化鎵這兩種材料有機(jī)結(jié)合,突破了氮化鎵基LED材料和芯片制造技術(shù),推出了高效節(jié)能、光束質(zhì)量高的LED新光源,實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化;繼藍(lán)光技術(shù)突破后,研制成功高銦組分、生產(chǎn)型MOCVD設(shè)備,由此創(chuàng)造了黃光LED光效新記錄。今天,我校也帶來了基于黃光LED的新產(chǎn)品,請技術(shù)人員展示一下。該路燈,沒用熒光粉,其色調(diào)接近傳統(tǒng)高壓鈉燈,其示范應(yīng)用效果,得到了市政和市民好評。這一具有里程碑意義的新突破,將為LED和半導(dǎo)體照明技術(shù)和產(chǎn)業(yè)帶來新的活力、拓展新的應(yīng)用,將為我國經(jīng)濟(jì)的高質(zhì)量發(fā)展作出新貢獻(xiàn)。
國家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟秘書長、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟理事長吳玲
國家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟秘書長、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟理事長吳玲表示,中國半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)從無到有,從小到大,LED芯片的國產(chǎn)化率達(dá)到80%以上。希望未來有一天能真正實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)強(qiáng)國。目前第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展就像十年前半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)一樣,可以看出未來潛在巨大需求。為此在科技部、國家基金委和國家十三五重點(diǎn)專項(xiàng)都給予了支持和部署。面對中美貿(mào)易磨擦,在座的年輕人共同承擔(dān)起的責(zé)任,不僅要補(bǔ)齊短板,還要發(fā)展自己長項(xiàng)。三十年彈指一揮間,半導(dǎo)體照明人整整做了十五年,但好像就在昨天。第三代半導(dǎo)體再過十五年,一定為人類綠色低碳可持續(xù)發(fā)展做出我們的貢獻(xiàn)。
江西省科技廳副廳長趙金城
江西省科技廳副廳長趙金城表示,在科技部等部委的大力支持下,我省MOCVD技術(shù)取得了長足進(jìn)步,涵蓋了從MO源、MOCVD設(shè)備、到MOCVD材料生長、芯片制造、器件封裝和產(chǎn)品應(yīng)用等全產(chǎn)業(yè)鏈的研發(fā)和生產(chǎn)工作,覆蓋了紅橙黃綠青藍(lán)紫七彩色發(fā)光器件。其中,南昌大學(xué)實(shí)現(xiàn)了MOCVD裝備與工藝深度融合,成功地在硅襯底上生長了高光效藍(lán)光、綠光和黃光LED,實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化,為LED和半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展帶來了新的活力和拓展了新的應(yīng)用。南昌大學(xué)半導(dǎo)體照明技術(shù)創(chuàng)新團(tuán)隊(duì),經(jīng)過20多年的艱苦奮斗,取得了今天的創(chuàng)新成果。希望未來在科技創(chuàng)新領(lǐng)域踐行了“堅(jiān)定執(zhí)著追理想,實(shí)事求是闖新路,艱苦奮斗攻難關(guān),依靠群眾求勝利”的井岡山精神。在科技創(chuàng)新的過程中,不忘初心、堅(jiān)定執(zhí)著、實(shí)事求是、敢闖新路、艱苦奮斗、攻堅(jiān)克難、依靠團(tuán)隊(duì)、求得勝利!
國家自然科學(xué)基金委信息四處處長潘慶
國家自然科學(xué)基金委信息四處處長潘慶表示,國家基金委一直鼓勵和支持重大科技項(xiàng)目的研發(fā)。本屆MOCVD學(xué)術(shù)會議所設(shè)四個主題分會也正是基金委項(xiàng)目所覆蓋的領(lǐng)域,希望與會的專家青年學(xué)者能積極申請科研項(xiàng)目,通過申請科研項(xiàng)目為我國半導(dǎo)體領(lǐng)域的科技進(jìn)步與創(chuàng)新研發(fā)共促產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。
科技部高新司副司長曹國英
科技部高新司副司長曹國英在致辭中指出,科技強(qiáng)國意味著很多關(guān)鍵裝備、關(guān)鍵材料和關(guān)鍵技術(shù)都要強(qiáng)。同時更重要在體制和機(jī)制創(chuàng)新下,讓更多年輕人脫穎而出。“樹欲靜而風(fēng)不止”我們一直在謀劃科技強(qiáng)國,而西方發(fā)達(dá)國家一直在制約著我們科技的發(fā)展。經(jīng)過梳理會發(fā)現(xiàn),其中半導(dǎo)體領(lǐng)域尤為突出,MOCVD技術(shù)就是其中一個關(guān)鍵技術(shù)。雄關(guān)漫道真如鐵,而今邁步從頭越。我們未來不僅要補(bǔ)齊短板,更要發(fā)展自己長板,未來的科技進(jìn)步和突破更是要依仗大家。
隨后在主題報(bào)告環(huán)節(jié),廈門大學(xué)校長張榮教授和中科院長春光機(jī)物理所申德振研究員共同主持。來自中國科學(xué)院院士、西安電子科技大學(xué)郝躍教授帶來了“氮化物與超寬禁帶半導(dǎo)體電子發(fā)展與展望”。MOCVD技術(shù)的開拓者之一、美國科學(xué)院院士佐治亞理工學(xué)院Russell Dupuis教授介紹了“照亮世界:金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積III-V族化合物半導(dǎo)體器件”主題報(bào)告;中國科學(xué)院院士、中科院微電子所劉明研究員介紹了“超寬禁帶氧化鎵半導(dǎo)體器件”報(bào)告;廈門大學(xué)校長張榮教授帶來了“Ⅲ族氮化物半導(dǎo)體的制備與納米結(jié)構(gòu)發(fā)光器件研究 ”主題報(bào)告;半導(dǎo)體照明聯(lián)合創(chuàng)新國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任、中科院半導(dǎo)體所李晉閩研究員分享了“紫外LED的產(chǎn)業(yè)機(jī)遇與技術(shù)挑戰(zhàn)”主題報(bào)告。
中國科學(xué)院院士、西安電子科技大學(xué)郝躍教授
其中,郝躍院士報(bào)告前首先以毛澤東同志詩詞《西江月·井岡山》中“山下旌旗在望,山頭鼓角相聞。敵軍圍困萬千重,我自巋然不動。早已森嚴(yán)壁壘,更加眾志成城。”開篇暗示我國半導(dǎo)體科技界正經(jīng)歷西方發(fā)達(dá)國家發(fā)起的貿(mào)易戰(zhàn),我們更要任憑敵軍團(tuán)團(tuán)圍困,我依然巋然不可撼動。整飭的防御工事已嚴(yán)陣以待,所以更加團(tuán)結(jié)一心如筑成的堡壘。同時也用詩詞《水調(diào)歌頭,重上井岡山》中“世上無難事,只要肯登攀。”勉勵在做青年科研人員投身國家科技強(qiáng)國建設(shè)。
中國科學(xué)院院士、中科院微電子所劉明研究員介紹了“超寬禁帶氧化鎵半導(dǎo)體器件”報(bào)告
MOCVD技術(shù)的開拓者之一、美國科學(xué)院院士佐治亞理工學(xué)院Russell Dupuis教授介紹了“照亮世界:金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積III-V族化合物半導(dǎo)體器件”主題報(bào)告
廈門大學(xué)校長張榮教授帶來了“Ⅲ族氮化物半導(dǎo)體的制備與納米結(jié)構(gòu)發(fā)光器件研究 ”主題報(bào)告
半導(dǎo)體照明聯(lián)合創(chuàng)新國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任、中科院半導(dǎo)體所李晉閩研究員分享了“紫外LED的產(chǎn)業(yè)機(jī)遇與技術(shù)挑戰(zhàn)”主題報(bào)告。
此外,大會同期“激光器材料與器件”、“LED及探測器材料與器件”、“電力電子器件”及“其他器件及應(yīng)用”四個主題分會同樣是特邀報(bào)告和口頭報(bào)告前沿研究交相輝映,讓與會的嘉賓和青年科研代表享受到MOCVD技術(shù)“科研盛宴”。