AIXTRON新客戶訂購其首臺AIX 2800G4-TM MOCVD機臺
德國黑措根拉特,2018年9月25日 — 全球領先的半導體行業沉積設備供應商AIXTRON愛思強股份有限公司(法蘭克福證券交易所:AIXA)今日宣布,華芯半導體科技有限公司已采購一臺AIX 2800G4-TM MOCCVD用于激光二極管的生產。作為中國VCSEL(垂直腔面發射激光器)芯片專家,華芯半導體將于2018年第四季度收到其首臺AIXTRON機臺。全自動化的行星式反應器®將以8x6英寸的配置實現VCSEL激光器的大規模量產。
AIX 2800G4-TM機型已經確立了應用于3D感應的VCSEL及其他激光二極管大規模生產的領先地位。行星式反應器®的概念不僅最大程度保障了高性能芯片的良率,而且也保證了外延片的均勻性以提供無與倫比的生產力。除了每臺機臺優良的再現性之外,客戶也贊賞了多個機臺間絕佳的重復性。此外AIX 2800G4-TM還保障了MOCVD工藝中昂貴化學資源的最高利用率,用來生產激光二極管。
華芯半導體科技有限公司總經理彭靈勇表示:“近年來AIX 2800 G4-TM平臺已經確立了在VCSEL或光通訊激光器生產的領先地位。這將是我們首臺AIXTRON MOCVD機臺,我們非常期待受益于AIX 2800G4-TM提供的卓越器件性能,最佳外延片均勻性,和最大靈活性。”
“我們很榮幸能將AIX 2800G4-TM卓越的性能展現給華芯半導體。它是光子應用領域中大規模生產的理想解決方案。我們期待與華芯半導體的合作,并提供最大程度的支持來協助華芯半導體將已有的生產技術轉移到我們的平臺。”AIXTRON愛思強股份有限公司總裁Bernd Schulte博士說。