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西安交通大學田震寰博士:激光打孔和雙襯底轉移技術制備金字塔型柔性氮化鎵基LED

放大字體  縮小字體 發布日期:2018-10-31 來源:中國半導體照明網瀏覽次數:376
   2018年10月23-25日,由國家半導體照明工程研發及產業聯盟(CSA)、第三代半導體產業技術創新戰略聯盟(CASA)與深圳市龍華區政府聯合主辦的第十五屆中國國際半導體照明論壇(SSLCHINA 2018)暨2018國際第三代半導體論壇(IFWS 2018)在深圳會展中心舉行。
 
  LED芯片、封裝、模組技術的發展一直都是行業關注的焦點。10月24日上午,SSLCHINA2018 經典分會“芯片封裝技術”在深圳會展中心召開。南昌大學教授張建立,挪威科學技術大學教授、挪威科學技術院院士、挪威Crayonano AS創始人兼首席技術官Helge WEMAN,西安交通大學田震寰博士,有研稀土新材料股份有限公司馬小樂博士,華燦光電股份有限公司研發中心經理張威,深圳大道半導體有限公司總經理兼產品總監李剛,廣東德豪潤達電氣股份有限公司LED芯片事業部研發部部長劉宇軒,廈門大學副教授林岳等來自中外的強勢力量聯袂帶來精彩報告。易美芯光(北京)科技有限公司執行副總裁兼CTO劉國旭,中國科學院半導體研究半導體照明研究中心研究員、總工程師伊曉燕共同主持了本次分會。
田震寰
 
  會上,西安交通大學田震寰博士帶來了激光打孔和雙襯底轉移技術制備金字塔型柔性氮化鎵基LED的報告,分享了相關的研究成果。其研究團隊采用激光打孔的方式制作圖形化襯底,通過精確控制激光加工參數,改變燒蝕孔的直徑、深度和間距,得到規整碗狀結構的圖形化藍寶石襯底。分析了基于該襯底生長的micro-LEDs的形貌、光譜分布、晶體質量、光學和力學性質。采用激光剝離和二次襯底轉移的工藝將金字塔陣列從藍寶石襯底上轉移到柔性襯底上。通過合理控制臨時襯底的固化參數,實現了完整的大規模的micro-LEDs轉移,制作了透明電極。成功制備多種形貌的micro-LEDs陣列,并對其形貌、光譜分布、晶體質量等方面進行了表征,研究了襯底設計的影響。她表示,研究團隊通過模擬、計算和實驗相結合的方式研究了金字塔結構對器件的光學和力學性能的影響。以金字塔結構為基礎實現半透明的柔性器件的制作,并對其電學和光學性能進行了表征,分析了器件失效的原因。
 
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關鍵詞: LED 芯片 封裝 模組
 
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