2018年11月,第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)理事單位上海大革智能科技有限公司曹祐銘執(zhí)行官,代表公司向國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)宣布上海大革成功開(kāi)發(fā)出4H導(dǎo)電型碳化硅4寸襯底。這標(biāo)志著上海大革智能科技有限公司自2015年啟動(dòng)的碳化硅長(zhǎng)晶及切磨拋?lái)?xiàng)目,經(jīng)過(guò)技術(shù)團(tuán)隊(duì)反復(fù)的工藝驗(yàn)證,取得了第一階段的成果。
2016年初,上海大革智能科技有限公司曹祐銘執(zhí)行官,看到國(guó)內(nèi)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)有著巨大的市場(chǎng)與發(fā)展?jié)摿Γ瑳Q定正式啟動(dòng)寬禁帶半導(dǎo)體材料碳化硅單晶的合成與加工項(xiàng)目。
項(xiàng)目成立初期,曹祐銘執(zhí)行官用巨資獲得了日本主要的碳化硅長(zhǎng)晶設(shè)備廠家日新技研的技術(shù)指導(dǎo),并且派遣技術(shù)團(tuán)隊(duì)在日本學(xué)習(xí)碳化硅晶體合成技術(shù)。同時(shí),上海大革獲得了日新技研的授權(quán),成為中國(guó)唯一一家可以利用日新技研的技術(shù)專(zhuān)利與設(shè)備圖紙,在中國(guó)國(guó)內(nèi)生產(chǎn)日新技研碳化硅單晶合成設(shè)備的企業(yè)。
上海大革智能科技有限公司在技術(shù)增長(zhǎng)同時(shí)也是共同創(chuàng)辦人馮恒毅先生的帶領(lǐng)下,以日新技研的碳化硅長(zhǎng)晶技術(shù)為基礎(chǔ),同時(shí)又獲益與日新技研碳化硅單晶合成爐穩(wěn)定的設(shè)備性能,使得碳化硅單晶合成技術(shù)得到了顯著的提高。
目前,上海大革已經(jīng)具備可以利用日新技研碳化硅單晶合成爐,生產(chǎn)4寸導(dǎo)電型碳化硅晶體,有效高度達(dá)到20mm。上海大革智能科技有限公司的第一批碳化硅芯片已經(jīng)完成加工,送往國(guó)內(nèi)外的外延與器件廠家驗(yàn)證。
目前正在積極的與地方政府及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)投資公司溝通交流,以期待盡快實(shí)現(xiàn)碳化硅單晶合成設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化。公司計(jì)劃首期產(chǎn)業(yè)化的投資在人民幣2億以?xún)?nèi),達(dá)到在碳化硅襯底片的量產(chǎn)的同時(shí),實(shí)現(xiàn)碳化硅長(zhǎng)晶設(shè)備的銷(xiāo)售。公司預(yù)計(jì)未來(lái)碳化硅晶體做為第三代半導(dǎo)體材料,隨著全世界對(duì)于高效能源的關(guān)注,將獲得非常巨大設(shè)備市場(chǎng)與襯底市場(chǎng)。
同時(shí),上海大革智能科技有限公司也積極布局產(chǎn)業(yè)鏈下游應(yīng)用的研發(fā)。公司已經(jīng)啟動(dòng)3300V碳化硅器件的研發(fā),未來(lái)將應(yīng)用于國(guó)家電網(wǎng)、中車(chē)、南方電網(wǎng)等企業(yè)。同時(shí),上海大革智能科技有限公司還將在固態(tài)變壓器領(lǐng)域布局,為未來(lái)的電力輸送,電能轉(zhuǎn)換存儲(chǔ)及智能電網(wǎng)提供技術(shù)支持。