MO源（高純金屬有機化合物）和電子特氣是現代化合物半導體產業的支撐原材料。安全生產事關半導體可持續發展的根本，安全生產管理水平的提高對維護國家安全、保持社會穩定，都具有重要意義。

 

　　4月26日-27日，由國家半導體照明工程研發及產業聯盟（CSA）、第三代半導體產業技術創新戰略聯盟（CASA）牽頭主辦，國內唯一實現MO源研發和產業化的龍頭企業江蘇南大光電材料股份有限公司獨家承辦的“MO源及特氣使用安全技術交流會“在蘇州獨墅湖世尊會議酒店成功召開。本次會議也得到了江蘇省科技廳、蘇州市科技局、蘇州工業園區科技和信息化局以及天津濱海高新區高度重視。

會議現場

 

　　國家半導體照明工程研發及產業聯盟常務副秘書長阮軍，第三代半導體產業技術創新戰略聯盟秘書長于坤山，江蘇省科學技術廳社會發展與基礎研究處處長周靈群，蘇州市科技局農科與社會發展處處長孫強，蘇州工業園區科技和信息化局科技管理處處長殷俊，天津市濱海新區安全監管局事故調查處處長仝聚和，天津濱海高新區安監局執法隊大隊長劉立福、江蘇南大光電材料股份有限公司名譽董事長孫祥禎，江蘇南大光電材料股份有限公司董事長馮劍松以及來自美國、臺灣、國內行業知名專家、技術大咖、安全生產監管部門領導、標準制定部門、科研院所及LED知名企業代表前來參會。會議由江蘇南大光電材料股份有限公司特氣事業部總經理王陸平主持。

 

國家半導體照明工程研發及產業聯盟常務副秘書長 阮軍 致辭

 

　　國家半導體照明工程研發及產業聯盟常務副秘書長阮軍在致辭中指出，半導體照明行業歷經十六年的發展，產業規模從最初幾億元發展到2018年整體產值7500億元。我們在座很多人也都見證了產業“從無到有，從小到大”的繁榮與發展，當然產業也面臨很多問題需要我們積極的探索。雖然我國經過十多年的努力成為了全球最大的半導體照明生產、消費和出口國。但在安全使用MO源和特氣等危化品方面的確還存在一些問題，尤其是近期行業內發生的多起事故也警示政府及產業相關企業予以重視。

 

　　對于未來產業發展，阮軍秘書長對企業發展提出‘八個需要’，即需要定力、需要創新、需要拓展、需要品牌、需要擔當、需要人才、需要模式創新、需要抓住’風口’，鼓勵企業要耐得住寂寞，腳踏實地做創新研發，基于自身條件積極延伸拓展，做大做強自有品牌，積極承擔社會責任，參與國家產業強國建設及國際分工競爭，抓住國家戰略政策布局及產業發展風口，實現企業及產業健康發展。

 

江蘇省科學技術廳社會發展與基礎研究處處長 周靈群 致辭

 

　　江蘇省科學技術廳社會發展與基礎研究處處長周靈群表示，江蘇省科技創新工作近幾年一直走在全國前列，機制化地優化創新資源配置，體制化地組織產業技術創新活動，結構性地調整科技管理工作格局，科技創新體系初步建成；緊緊圍繞建設高水平創新型省份的目標定位，大力實施“一深化四提升”專項行動，加大工作推進力度，加快改革探索步伐，全省全社會研發投入占地區生產總值比重達2.64%（新口徑），高新技術產業產值占規模以上工業產值比重達43.8%，科技進步貢獻率達63%，科技創新主要產出指標實現較大幅度躍升。我省在改善地方科研基礎條件、優化科技創新環境等方面成效突出區域創新能力繼續保持全國前列。

 

　　此次專業安全技術交流會的召開恰逢其時，最近省里連續召開安全生產專項會議，半導體、生物技術研發等方方面面聚焦安全生產，也是非常值得我們關注的，感謝南大光電在行業和領域發揮積極的作用，希望繼續和相關單位和企業開展合作，為江蘇半導體產業健康發展做出更大貢獻。

 

　　天津市濱海新區安全監管局事故調查處處長仝聚和表示，受主管部門特派參加此次會議非常高興。天津也有多家半導體相關生產制造企業，日常檢查過程中發現企業特別對MO源及特氣在生產、運輸、儲存及使用過程中認識不足，知識儲備不夠，希望通過此次學習彌補知識短板為企業健康發展提供幫助。

 

江蘇南大光電材料股份有限公司董事長 馮劍松 致辭

 

　　江蘇南大光電材料股份有限公司董事長馮劍松致辭時表示，半導體行業是國家實現中國夢的一個支柱產業，產業的持續發展的底線就是安全。這幾年全國各地比先趕超發展半導體產業，但同時關鍵技術尤其是人才匱乏、安全管理滯后等相關問題非常突出，近期大陸、臺灣等地知名企業發生的安全事故，再次提醒半導體企業必須解決好企業最根本的安全綠色發展問題。

 

　　作為半導體行業重要一員，南大光電期待在主管部門的領導下，通過國內外專家和客戶的合作，圍繞安全綠色發展真正做一些實事。堅持安中求進，實施精細生產，通過精細化的采購、智能生產、品質管理、技術革新為用戶提供可靠產品；堅持綠色創新發展，實現從產品制造到做好服務的轉變，推行營銷工程師制度，為客戶建立起從產品、技術到服務的全套解決方案；堅持協同創新，與MO源、電子特氣設備供應商和用戶一起創新我們的產品、技術和服務，與客戶一起成功；堅持增進交流，積極舉辦技術交流活動與主管部門、行業組織和用戶單位切磋技術，分享經驗，共同進步。

  

　　主題報告環節，第三代半導體產業技術創新戰略聯盟秘書長于坤山、中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所劉建平研究員、CeeVeeTech總裁Egbert Woelk教授、江蘇南大光電材料股份有限公司MO源事業部總經理陳化冰、中微半導體設備有限公司產品安全副總監王治平、邱唯力世偉洛克(上海)流體系統科技有限公司銷售及市場部總監邱唯力、江蘇南大光電材料股份有限公司客戶服務部經理徐濤、蘇州晶湛半導體有限公司張麗旸博士、江西兆馳半導體有限公司總經理武良文、江蘇南大光電材料股份有限公司特氣事業部總經理王陸平等先后從半導體照明及第三代半導體材料發展現狀及趨勢，GaN基激光器MOCVD生長C雜質問題、MO源安全制造及其使用、MO源安全與降低成本一體兩面的解決方案、MOCVD設備MO源及特氣安全規范、MO源鋼瓶驗收標準及操作規范、流體系統泄露常見原因分析及安全操作規范、MO源在寬禁帶半導體中應用、MO源材料的選擇對LED芯片性能的影響、特種電子氣體的安全運行管理注意事項等主題報告。

 

　　最后，被譽為“中國的MO源之父”、江蘇南大光電材料股份有限公司名譽董事長孫祥禎教授作了總結發言。他表示，半導體產業要發展好，安全生產問題的研討我們也要走在世界的前列，這是我們的責任和任務。國內LED產業和MOCVD外延已走在世界的前列，我們不僅量大，而且從初級基礎生產已經向高端高質量發展邁進。因此我們要不斷深入探討研究行業安全問題，杜絕安全事故的隱患，主動防范，為行業及企業安全生產健康發展貢獻智慧。

 

　　會議期間，參會企業代表與到會的知名專家和報告嘉賓形成了良好的溝通，對MO源及特氣安全使用有了更深一步的認識，也為日后企業實際安全生產提供了經驗參考。會后，安排參會代表實地參觀考察了南大光電二期工廠，通過實地參觀演示講解進一步加深了對MO源及特氣生產、儲存、運輸和使用過程的認知。

實地參觀考察南大光電