11月25-27日,由深圳市龍華區(qū)科技創(chuàng)新局特別支持,國(guó)家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(CSA)、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)主辦,深圳第三代半導(dǎo)體研究院與北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司共同承辦的第十六屆中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體照明論壇(SSLCHINA 2019)暨2019國(guó)際第三代半導(dǎo)體論壇(IFWS 2019)在深圳會(huì)展中心召開。
11月27日上午,“固態(tài)紫外器件技術(shù)”分會(huì)如期召開。本屆分會(huì)山西中科潞安紫外光電科技有限公司、中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司協(xié)辦。
第三代半導(dǎo)體材料在紫外器件中具備其他半導(dǎo)體材料難以比擬的優(yōu)勢(shì),展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力。分會(huì)重點(diǎn)關(guān)注以氮化鋁鎵、氮化鎵為代表的紫外發(fā)光材料,以碳化硅、氮化鎵為代表的紫外探測(cè)材料,高效量子結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及外延,以及發(fā)光二極管、激光器、光電探測(cè)器等核心器件的關(guān)鍵制備技術(shù)。
挪威科學(xué)技術(shù)大學(xué)教授、挪威科學(xué)技術(shù)院院士Helge WEMAN,南京大學(xué)教授陸海,臺(tái)灣交通大學(xué)特聘教授郭浩中,中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司主任工藝工程師胡建正,上海大學(xué)教授、Ultratrend Technologies Inc總裁吳亮,河北工業(yè)大學(xué)教授張紫輝,鄭州大學(xué)Muhammad Nawaz SHARIF,廈門大學(xué)高娜,南京大學(xué)王致遠(yuǎn)等國(guó)際知名專家參加本次會(huì)議,力圖呈現(xiàn)紫外發(fā)光和探測(cè)領(lǐng)域在材料、器件、封裝及應(yīng)用等各層面的國(guó)內(nèi)外最新進(jìn)展。廈門大學(xué)教授康俊勇、中科院半導(dǎo)體所研究員、半導(dǎo)體照明研發(fā)中心主任王軍喜共同主持了本次分會(huì)。
寬帶隙半導(dǎo)體由于其大的帶隙能量,高的電子飽和速度,優(yōu)異的輻射硬度和耐高溫性,最近在紫外線(UV)光電探測(cè)器應(yīng)用中引起了廣泛的關(guān)注。這樣的光電探測(cè)器具有各種潛在的應(yīng)用,包括火焰探測(cè),環(huán)境監(jiān)測(cè),化學(xué)/生物制劑探測(cè)和太陽(yáng)物理學(xué)。
會(huì)上,南京大學(xué)教授陸海做了題為“基于寬禁帶半導(dǎo)體以及相關(guān)應(yīng)用的UV檢測(cè)儀器發(fā)展現(xiàn)狀”的在主題報(bào)告,回顧一些基于III族氮化物半導(dǎo)體和SiC的高性能UV光電探測(cè)器的材料生長(zhǎng),設(shè)計(jì)和制造方面的最新工作。各種紫外線光電探測(cè)器的優(yōu)點(diǎn)將根據(jù)其各自的首選應(yīng)用進(jìn)行了討論。
報(bào)告指出,基于GaN和AlGaN的常規(guī)光電探測(cè)器已準(zhǔn)備就緒,可用于商業(yè)應(yīng)用。同時(shí),由于材料質(zhì)量的顯著提高,SiC單光子計(jì)數(shù)UV APD表現(xiàn)出了卓越的性能,可用于許多尖端應(yīng)用。紫外線檢測(cè)器的潛在市場(chǎng)已顯示出明顯的增長(zhǎng)趨勢(shì)。但是,可靠性和資格研究應(yīng)該趕上一些嚴(yán)格的應(yīng)用需求。
(內(nèi)容根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)資料整理,如有出入敬請(qǐng)諒解)