河北同光晶體有限公司成立于2012年5月28日，公司位于河北省保定市高新區(qū)。同光碳化硅單晶項目總投資10億元人民幣，占地92畝，建筑面積13萬平方米，已購置單晶生長爐170臺，很快將同址擴至300臺。檢測儀器設(shè)備20臺套，切磨拋工藝設(shè)備13臺。目前，公司研發(fā)產(chǎn)品涵蓋直徑4—6英寸導(dǎo)電型和高純半絕緣型碳化硅單晶襯底片。高純半絕緣型碳化硅單晶在純度方面，能夠?qū)㈦s質(zhì)含量穩(wěn)定控制在0.01ppm以下。

考察之后，唐景庭主任表示，目前國內(nèi)材料企業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)中切、磨、拋設(shè)備幾乎均從國外進(jìn)口。檢測設(shè)備，包括晶片缺陷檢測系統(tǒng)、高分辨X射線衍射儀、拉曼光譜儀、平整度儀、超景深顯微鏡、原子力顯微鏡、高電阻率測試儀、低電阻率測試儀等也均從國外進(jìn)口。聯(lián)盟裝備委員會未來的主要任務(wù)就是推動以材料、工藝帶動國產(chǎn)裝備發(fā)展，進(jìn)而實現(xiàn)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)的全面突破。此次調(diào)研收獲很大，以后將陸續(xù)組團(tuán)對裝備委員會的成員進(jìn)行考察調(diào)研，逐步提出裝備發(fā)展的路線圖。他還表示，中國電科第十三研究所SiC襯底需求量約占全國的30％，以后需求將呈爆發(fā)式增長。考慮到同光晶體技術(shù)的先進(jìn)性、產(chǎn)能的可保證性和同在河北省帶來的各種便利等優(yōu)勢條件，按照以市場換解決關(guān)鍵設(shè)備短板進(jìn)而促進(jìn)產(chǎn)業(yè)良性發(fā)展的原則，十三所擬自2020年1月起，逐步采購使用同光SiC襯底片。