蘋果 iPhone X 采用 3D 感測技術后,半導體材料砷化鎵因 VCSEL 等應用而聲名大噪,近來隨著 5G、電動車等新應用興起,對功率半導體需求增溫,新一代材料氮化鎵 (GaN) 挾著高頻率等優勢,快速攫獲市場目光;以中國臺灣企業為代表的代工企業繼站穩硅晶圓代工、砷化鎵晶圓代工龍頭地位后,也積極搶進氮化鎵領域,力拚再拿代工龍頭寶座。
半導體材料邁入第三代
半導體材料歷經 3 個發展階段,第一代是硅 (Si)、鍺 (Ge) 等基礎功能材料;第二代開始進入由 2 種以上元素組成的化合物半導體材料,以砷化鎵 (GaAs)、磷化銦 (InP) 等為代表;第三代則是氮化鎵 (GaN)、碳化硅 (SiC) 等寬頻化合物半導體材料。
目前全球絕大多數半導體元件,都是以硅作為基礎功能材料的硅基半導體,不過,在高電壓功率元件應用上,硅基元件因導通電阻過大,往往造成電能大量損耗,且在高頻工作環境下,硅元件的切換頻率相對較低,性能不如寬頻化合物半導體材料。
硅基半導體受限硅材料的物理性質,而氮化鎵、碳化硅則因導通電阻遠小于硅基材料,導通損失、切換損失降低,可帶來更高的能源轉換效率。挾著高頻、高壓等優勢,加上導電性、散熱性佳,元件體積也較小,適合功率半導體應用,近來在 5G、電動車等需求推升下,氮化鎵等材料崛起成為半導體材料明日之星。
不過,其實氮化鎵材料廣為人知,是始于 LED 領域,1993 年時,日本日亞化學的中村修二成功以氮化鎵和氮化銦鎵 (InGaN),開發出具高亮度的藍光 LED,人類也因此湊齊可發出三原色光的 LED。
5G推升 氮化鎵擁高頻等優勢而崛起
LED 領域發光發熱后,近來受惠 5G、電動車應用推升,對高頻率、高功率元件需求成長,市場對氮化鎵的討論聲浪再度高漲。氮化鎵主要應用于 600 至 1000 伏特的電壓區間,具備低導通電阻、高頻率等優勢,可在高溫、高電壓環境下運作,但主要優勢仍在于高頻率元件,在高壓與高功率表現上,雖優于硅基材料,但不如碳化硅材料表現亮眼。
從應用面來看,氮化鎵應用包括變頻器、變壓器與無線充電,為國防、雷達、衛星通訊與無線通訊基地站等無線通訊設備的理想功率放大元件。
由于 5G 技術采用更高的操作頻率,業界看好,GaN 元件將逐步取代橫向擴散金氧半導體 (LDMOS),成為 5G 基站主流技術;且在手機功率放大器 (PA) 方面,因 GaN 材料具備高頻優勢,未來也可望取代砷化鎵制程,成為市場主流。
現行的 GaN 功率元件,以 GaN-on-Si(硅基氮化鎵)、GaN-on-SiC(碳化硅基氮化鎵)2 種晶圓為主,雖然 GaN-on-SiC 性能相對較佳,但價格大幅高于 GaN-on-Si,也使 GaN-on-Si 仍為目前市場主流,主要應用于電力電子領域,未來可望大幅導入 5G 基地臺的功率放大器 (PA)。
看準龐大需求 晶圓代工廠積極搶進
看準了氮化鎵這個機會,中國廠商正在積極推進。首先從臺廠進度來看,磊晶硅晶圓廠嘉晶 6 寸 GaN-on-Si 磊晶硅晶圓,已進入國際 IDM 廠認證階段,并爭取新訂單中;而同屬漢磊投控 集團的晶圓代工廠漢磊科,則已量產 6 寸 GaN on Si 晶圓代工,瞄準車用需求;晶圓代工龍頭臺積電 也已提供 6 寸 GaN-on-Si 晶圓代工服務。
至于 GaN-on-SiC 磊晶晶圓,則在散熱性能上具優勢,適合高溫、高頻操作環境,主要應用在功率半導體的車用、工業與消費型電子元件領域,少量應用于通訊射頻領域。目前 GaN-on-SiC 晶圓可做到 4 寸與 6 寸,未來可望朝 8 寸推進,惟磊晶技術主要集中在碳化硅晶圓大廠 Cree 手中,其在 SiC 晶圓市占率高達 6 成之多,幾乎獨霸市場。
不過,在晶圓代工產能方面,三五族半導體晶圓代工廠穩懋 已開始提供 6 寸 GaN-on-SiC 晶圓代工服務,應用瞄準高功率 PA 及天線;而環宇 - KY也擁有 4 寸 GaN-on-SiC 高功率 PA 產能,且 6 寸 GaN-on-SiC 晶圓代工產能已通過認證。
晶圓代工廠世界先進也在 GaN 材料上投資超過 4 年時間,持續與設備材料廠 Kyma、及轉投資 GaN 硅基板廠 Qromis 攜手合作,著眼開發可做到 8 寸的新基底高功率氮化鎵技術 GaN-on-QST,今年可望有小量樣品送樣,初期主要瞄準電源領域應用。
5G 應用推升氮化鎵材料需求,而除站穩硅晶圓代工龍頭、砷化鎵晶圓代工龍頭寶座外,臺廠在第三代半導體材料上,當然也不能缺席,包括硅晶圓代工廠、三五族半導體晶圓代工廠,均積極布局氮化鎵領域,以迎接 5G 時代下的半導體材料新革命。
當然在國內方面,也有多家廠商在大力投入,期望盡快看到他們開花結果的那天。