發(fā)射紫外光的激光二極管基于AIN（鋁化氮）襯底，在室溫脈沖電流注入下，發(fā)射出全球最短的激光波長(zhǎng)——271.8nm。但值得注意的是，以往短波長(zhǎng)半導(dǎo)體激光器僅能達(dá)到336nm，而目前的研究結(jié)果表明，深紫外光波長(zhǎng)范圍為200nm-280nm。

由于材料具有極高的電阻，研究員認(rèn)為在紫外線范圍內(nèi)進(jìn)行電流注入下的激光具有挑戰(zhàn)性。此次研發(fā)成功的關(guān)鍵因素包括使用專門(mén)設(shè)計(jì)的p側(cè)層，以同時(shí)實(shí)現(xiàn)足夠的光限制和降低器件電阻，以及通過(guò)采用缺陷少的AIN襯底來(lái)抑制光散射損耗。此外，旭化成還成功將其薄膜晶體生長(zhǎng)技術(shù)與名古屋大學(xué)C-TEFs設(shè)備的工藝技術(shù)和評(píng)估技術(shù)結(jié)合起來(lái)。

因此，這項(xiàng)研究成果掌握了開(kāi)發(fā)高輸出UV-C固態(tài)光源的關(guān)鍵。目前，研究小組正在開(kāi)展進(jìn)一步的合作研究，以實(shí)現(xiàn)持續(xù)室溫深紫外激光，進(jìn)而開(kāi)發(fā)深紫外半導(dǎo)體激光產(chǎn)品。深紫外半導(dǎo)體激光器有望用于醫(yī)療殺菌消毒，牛皮癬等皮膚疾病治療以及氣體和DNA分析。

據(jù)悉，該研究已于2019年10月發(fā)表在《應(yīng)用物理快報(bào)》（Applied Physics Express）期刊上。