8月24日,國產刻蝕設備龍頭中微公司發布了2021年半年報,報告期內,公司實現營收13.39億元,同比增長36.82%;實現歸母凈利潤3.97億元,同比增加233.17%,若剔除股份支付費用后,公司扣非歸母凈利潤為2.06億元,同比增長413.40%。
分季度看,公司第二季度公司實現營收7.35億元,同比增長29.95%。歸母凈利潤為2.59億元,創單季度歷史新高,同比增長178.87%。第二季度毛利率為43.50%,同比提升9.54個百分點,凈利率為35.20%,同比提升18.79個百分點。
在全球半導體制造商持續擴產,以滿足芯片需求的大背景下,半導體設備市場需求旺盛。今年上半年,中微公司的刻蝕設備收入為8.58億元,較去年同期增長約83.8%。
與之相比,中微公司另一主營產—MOCVD設備上半年實現收入2.19億元,較去年同期下降約10.08%,并且該業務收入在2018年達到峰值后,2019和2020年分別同比下滑9%和34%,連續兩年下跌。
LED產業是MOCVD設備最大的市場,2021年又普遍被認為是Mini-LED商用元年,該產品或將帶動公司MOCVD產品收入回暖。中微公司亦半年報中透露,上半年新簽訂單金額達18.89億元,同比增長超過70%,且有部分Mini-LED MOCVD設備規模訂單已進入最后簽署階段。
晶圓廠擴產潮下刻蝕設備收入穩步增長
報告期內,中微公司專用設備產品實現營收10.77億元,同比增長51.62%,實現毛利率為41.54%,同比增加8.76個百分點,其中微公司刻蝕設備收入占比達到79.67%。
中微公司的刻蝕設備主要包括CCP電容性高能等離子體刻蝕機和ICP電感性低能等離子體刻蝕機,設備可以應用到65納米到14納米、7納米和5納米及其他先進的集成電路加工制造生產線及先進封裝生產線。
今年上半年,中微公司CCP刻蝕設備中的PrimoAD-RIE、PrimoSSCADRIE等產品已批量應用于國內外一線客戶的集成電路加工制造生產線,在部分客戶市場占有率已進入前三位。
在先進邏輯電路方面,中微公司持續升級硬件性能,取得5納米及以下邏輯電路產線的重復訂單;在存儲電路方面,公司的刻蝕設備在64層及128層3DNAND的生產線得到廣泛應用。隨著3DNAND芯片制造廠產能的迅速爬升,該等產品的重復訂單穩步增長。
中微公司還透露正在布局動態存儲器的應用,并開始工藝開發及驗證。另外在新產品發布方面,中微公司于今年6月15日推出首臺用于8英寸晶圓加工的CCP刻蝕設備PrimoAD-RIE200,其可滿足客戶生產線未來可能擴產的需求。
而在ICP刻蝕方面,中微公司的Primonanova刻蝕設備產品在10家客戶的生產線上進行驗證。在研產品中則包括用于存儲器芯片制造的ICP刻蝕機、7-5nmICP刻蝕機項目以及用于5-3納米邏輯芯片制造的ICP刻蝕機。
中信證券近期在其研報中稱,中微公司的刻蝕設備在存儲廠及晶圓代工廠份額持續提升,目前在長江存儲/華力集成招標中設備數占比14.2%/17%,設備數國內第一。
伴隨著當前晶圓廠資本開支的持續擴張,對設備需求將顯著上升,半導體設備國產化進程有望進一步提速。
今年6月,中微公司收到向特定對象發行股票的募集資金凈額約81.25億元,公司擬定增募資擴充刻蝕設備產能630腔/年,2026年達產后產能將較2021年提升6倍,中信證券稱,公司未來有望持續受益國內晶圓廠擴產+國產化趨勢。
部分Mini-LED MOCVD設備訂單正在執行
中微公司的MOCVD設備此前主要聚焦藍光LED領域,用于生產氮化鎵基LED的外延片。
不過在報告期內,公司MOCVD設備實現收入2.19億元,較去年同期下降約10.08%,公司稱,主要由于下游市場原因。
結合公司2019年、2020年MOCVD設備收入均同比下滑的情況。《科創板日報》記者了解到,2019年受中美貿易爭端影響,LED芯片市場供過于求導致LED芯片的市場價格大幅下滑,另外受全球新冠疫情影響,2020年LED需求有所萎縮。但從2020年下半年開始,下游顯示應用快速回暖復蘇,LED顯示、照明市場快速回暖,其中2020年Q4開始Mini-LED的需求開始逐漸成長,推動LED行業進一步發展。
中微公司董秘劉曉宇在今年7月科創板開市兩周年峰會期間提到,現在已經有非常多終端廠商使用Mini-LED產品,“在原來的LED領域,大家談得比較多的LED電視,可能只需要幾十顆到幾百顆量級,而現在現在4K、8K電視,可能就需要幾千顆到幾萬顆量級,這對整個LED顆粒需求量是呈現爆發式成長,而這些應用領域對設備端提出非常高的要求,尤其是在產品的重復性、穩定性,可靠性等維度”。
今年6月,中微公司發布了專為高性能Mini-LED量產而設計的PrismoUniMaxMOCVD設備,劉曉宇稱,公司的新產品很好解決了產品良率提升的問題,另外該產品在技術也進行了非常多的創新。半年報顯示,該設備的加工容量可以延伸到生長164片4英寸或72片6英寸晶片。
中微公司透露,2021年上半年新簽訂單金額達18.89億元,同比增長超過70%,且有部分Mini-LED MOCVD設備規模訂單已進入最后簽署階段。
另外在其他財務數據方面,報告期內,公司研發費用支出投入總額為2.86億元,其中包含股份支付費用5504.32萬元。若剔除股份支付費用的影響,2021年上半年研發投入總額為2.3億元,較去年同期增長11.5%。