9月16日，中微公司發布公告稱，中微半導體設備（上海）股份有限公司自2021年2月23日至2021年9月15日，累計獲得政府補助款項共計人民幣15,061.37萬元，其中，與收益相關的政府補助為人民幣15,061.37萬元，與資產相關的政府補助為人民幣0萬元。