2021年11月8日,以“芯動(dòng)力 新征程——寬禁帶半導(dǎo)體的機(jī)遇與挑戰(zhàn)”為主題的第四屆全國(guó)寬禁帶半導(dǎo)體學(xué)術(shù)會(huì)議在廈門盛大開幕。
開幕大會(huì)
中國(guó)科學(xué)院院士、國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)信息科學(xué)部主任、西安電子科技大學(xué)教授郝躍,大會(huì)主席、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟理事長(zhǎng)、國(guó)家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟理事長(zhǎng)吳玲,大會(huì)主席、廈門大學(xué)校長(zhǎng)張榮教授,集美大學(xué)黨委書記沈燦煌,廈門市科技局局長(zhǎng)孔曙光,中國(guó)有色金屬學(xué)會(huì)寬禁帶專業(yè)委員會(huì)常務(wù)副主任、北大東莞光電研究院常務(wù)副院長(zhǎng)、北京大學(xué)教授張國(guó)義,半導(dǎo)體照明聯(lián)合創(chuàng)新國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任、中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所研究員李晉閩,北京大學(xué)理學(xué)部副主任沈波教授,江蘇第三代半導(dǎo)體研究院院長(zhǎng)、中科院蘇州納米所副所長(zhǎng)徐科研究員,國(guó)家電網(wǎng)全球能源互聯(lián)網(wǎng)研究院原副院長(zhǎng)、廈門大學(xué)講座教授邱宇峰,東北師范大學(xué)副校長(zhǎng)徐海陽教授,三安光電股份有限公司總經(jīng)理林科闖,廈門光莆電子股份有限公司董事長(zhǎng)林瑞梅,第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟秘書長(zhǎng)于坤山等一大批國(guó)內(nèi)寬禁帶半導(dǎo)體領(lǐng)域業(yè)界資深專家、教授和優(yōu)秀中青年學(xué)者、以及產(chǎn)業(yè)界科研技術(shù)人員、機(jī)構(gòu)嘉賓、院校師生、企業(yè)家代表等參與本次學(xué)術(shù)盛會(huì)。大會(huì)開幕式由廈門大學(xué)康俊勇教授主持。
大會(huì)現(xiàn)場(chǎng)
近年來,寬禁帶半導(dǎo)體已成為全球高技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)戰(zhàn)略制高點(diǎn)之一,國(guó)際半導(dǎo)體及材料領(lǐng)域研究和發(fā)展的熱點(diǎn),基于寬禁帶半導(dǎo)體材料,半導(dǎo)體照明已經(jīng)形成巨大規(guī)模的產(chǎn)業(yè),并在電子功率器件領(lǐng)域繼續(xù)深入發(fā)展。本屆會(huì)議由中國(guó)有色金屬學(xué)會(huì)寬禁帶半導(dǎo)體專業(yè)委員會(huì)、中國(guó)電子學(xué)會(huì)電子材料學(xué)分會(huì)、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)聯(lián)合主辦,廈門大學(xué)、南京大學(xué)承辦,福建省半導(dǎo)體光電材料及其高效轉(zhuǎn)換器件協(xié)同創(chuàng)新中心、福建省半導(dǎo)體材料及應(yīng)用重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、廈門市未來顯示技術(shù)研究院、廈門大學(xué)物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院、微納光電子材料與器件教育部工程研究中心、半導(dǎo)體照明聯(lián)合創(chuàng)新國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司全力協(xié)辦。
廈門大學(xué)康俊勇教授主持開幕式環(huán)節(jié)
其中,中科潞安、亞格盛電子、中微公司、先普、奧趨光電、Crystal、昂坤視覺、南大光電、Novel Crystal、中鎵半導(dǎo)體、金竟科技、力冠微電子裝備、良允科技、化合積電、志橙半導(dǎo)體、南京伯奢詠懷、上海翱晶、卓立漢光、納維科技、尚勤光電、邁塔光電、中電化合物、恒普真空、鎵特半導(dǎo)體、中紫半導(dǎo)體、泰克科技、鵬城半導(dǎo)體、鴻陽科技、JAPAN CREATE、江蘇第三代半導(dǎo)體研究院、元旭半導(dǎo)體等材料國(guó)內(nèi)外知名廠商參加此次會(huì)議。會(huì)議圍繞“芯動(dòng)力 新征程——寬禁帶半導(dǎo)體的機(jī)遇與挑戰(zhàn)”這一主題開展廣泛交流,交流寬禁帶半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展動(dòng)態(tài),促進(jìn)相互合作。
廈門大學(xué)校長(zhǎng)張榮教授,中科院院士、國(guó)家自然科學(xué)基金委信息學(xué)部主任、西安電子科技大學(xué)教授郝躍,中國(guó)有色金屬學(xué)會(huì)寬禁帶專業(yè)委員會(huì)常務(wù)副主任、北大東莞光電研究院常務(wù)副院長(zhǎng)、北京大學(xué)教授張國(guó)義,第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、國(guó)家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟理事長(zhǎng)吳玲,廈門科技局孔曙光局長(zhǎng)先后為大會(huì)致開幕詞。因新冠肺炎疫情阻隔,諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)獲得者天野浩(Hiroshi Amano)教授通過視頻方式為本屆會(huì)議致辭。
廈門大學(xué)校長(zhǎng)張榮教授
張榮校長(zhǎng)致辭時(shí)表示,廈門大學(xué)是國(guó)內(nèi)最早創(chuàng)辦半導(dǎo)體學(xué)科的高校之一,廈門大學(xué)半導(dǎo)體研究和廈門半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展共同進(jìn)步,在政府和產(chǎn)業(yè)的支持下不斷取得新進(jìn)展,利用地緣優(yōu)勢(shì),廈門大學(xué)與當(dāng)?shù)氐娜补怆姟⒐馄坞娮印⑶展怆姷绕髽I(yè)聯(lián)合攻關(guān),重點(diǎn)開展關(guān)于基于寬禁帶半導(dǎo)體的固態(tài)照明光源、深紫外消殺技術(shù)等方面的交流合作,推動(dòng)寬禁帶半導(dǎo)體的技術(shù)轉(zhuǎn)化和創(chuàng)新。今年是國(guó)家“十四五”的開局之年,站在新起點(diǎn),新征程上,如何邁好我國(guó)寬禁帶半導(dǎo)體發(fā)展的步伐至關(guān)重要,面對(duì)當(dāng)前的科技博弈,科技的自立自強(qiáng),是應(yīng)對(duì)風(fēng)險(xiǎn)挑戰(zhàn)的必然選擇。
中科院院士、國(guó)家自然科學(xué)基金委信息學(xué)部主任、西安電子科技大學(xué)教授郝躍
郝躍院士致辭時(shí)表示,寬禁帶半導(dǎo)體被列為國(guó)家“十四五”發(fā)展規(guī)劃中,國(guó)家自然科學(xué)基金委非常關(guān)注寬禁帶與超寬禁帶半導(dǎo)體的發(fā)展,希望從基礎(chǔ)研究的角度不斷推進(jìn)寬禁帶和超寬禁帶半導(dǎo)體的發(fā)展,先從重大項(xiàng)目群開始,成熟后考慮再推進(jìn)重大研究計(jì)劃,推進(jìn)寬禁帶和超寬禁帶半導(dǎo)體基礎(chǔ)研究的關(guān)鍵和核心技術(shù)的突破,利用這次機(jī)會(huì),希望廣大業(yè)界同仁可以探討寬禁帶半導(dǎo)體的發(fā)展,以及如何利用好機(jī)遇,不斷推進(jìn)產(chǎn)業(yè)的進(jìn)步和發(fā)展。
中國(guó)有色金屬學(xué)會(huì)寬禁帶專業(yè)委員會(huì)常務(wù)副主任、北大東莞光電研究院常務(wù)副院長(zhǎng)、北京大學(xué)教授張國(guó)義
張國(guó)義教授致辭時(shí)表示,以碳化硅、氮化鎵等為代表的寬禁帶半導(dǎo)體發(fā)展是國(guó)際熱點(diǎn),在半導(dǎo)體照明領(lǐng)域已經(jīng)形成規(guī)模化的產(chǎn)業(yè),在功率器件和射頻器件方面不斷深入發(fā)展,氮化鎵、金剛石等為代表的新材料半導(dǎo)體迅速發(fā)展,一些新的材料正在擴(kuò)展,寬禁帶半導(dǎo)體未來會(huì)越來越寬廣。會(huì)議對(duì)于促進(jìn)交流,協(xié)同創(chuàng)新起到了積極的作用,也得到高度認(rèn)可,影響力日益增大,希望大家通過此次會(huì)議廣泛的討論交流,發(fā)現(xiàn)合作機(jī)會(huì),實(shí)現(xiàn)優(yōu)勢(shì)互補(bǔ),助力我國(guó)搶占寬禁帶半導(dǎo)體國(guó)際戰(zhàn)略制高點(diǎn),推動(dòng)科學(xué)技術(shù)發(fā)展進(jìn)步。
諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)獲得者天野浩(Hiroshi Amano)教授
Amano教授視頻致辭時(shí)表示,寬禁帶半導(dǎo)體在解決全球性的問題上,正變得越來越重要,比如硅基功率器件面臨的不足,可以利用寬禁帶半導(dǎo)體來解決,基于寬禁帶半導(dǎo)體的高頻晶體管能夠?yàn)?G甚至是5G之后的無線通信系統(tǒng)提供支持,此外,還可以用于抑制新型冠狀肺炎傳播的深紫外消毒器制備。深信會(huì)議能圓滿成功,所有與會(huì)者都能享受到精彩的演講和熱烈的討論,并啟迪下一步的創(chuàng)新和研發(fā)。
第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、國(guó)家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟理事長(zhǎng)吳玲
吳玲理事長(zhǎng)致辭時(shí)表示,從國(guó)際形勢(shì)來看,我們面臨非常嚴(yán)峻的發(fā)展環(huán)境,半導(dǎo)體在科技創(chuàng)新,產(chǎn)業(yè)發(fā)展方面到了一個(gè)很關(guān)鍵的時(shí)期,寬禁帶半導(dǎo)體不僅僅在支撐雙碳實(shí)現(xiàn),支撐數(shù)字化,智能化以及產(chǎn)業(yè)提升等方面具有非常重要的作用,而且如果能和我國(guó)巨大的能源,交通,信息,智能制造巨大市場(chǎng)需求相結(jié)合,有可能形成在全球的技術(shù)優(yōu)勢(shì)和產(chǎn)業(yè)制衡,重塑全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)格局。第三代半導(dǎo)體的發(fā)展對(duì)業(yè)界同仁也是千載難逢的機(jī)遇,希望大家利用好這次會(huì)議的平臺(tái)充分交流討論,推動(dòng)政產(chǎn)學(xué)研深度融合,以及學(xué)科的交叉融合發(fā)展,也希望廈門利用好這次機(jī)會(huì),如同推動(dòng)半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)發(fā)展一樣,再次做出表率。
廈門科技局孔曙光局長(zhǎng)
孔曙光局長(zhǎng)致辭時(shí)表示,寬禁帶半導(dǎo)體的發(fā)展速度非常快,廈門產(chǎn)業(yè)發(fā)展基礎(chǔ)好,發(fā)展速度快,經(jīng)過多年的發(fā)展,在光電領(lǐng)域已經(jīng)有很好的積累,在發(fā)展寬禁帶半導(dǎo)體中具有優(yōu)勢(shì)。2019年廈門就啟動(dòng)了未來產(chǎn)業(yè)培育工程,進(jìn)行搶先布局,第三代半導(dǎo)體是其中之一,力爭(zhēng)2025年實(shí)現(xiàn)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)相關(guān)的產(chǎn)值能達(dá)到200億元以上,目前也形成了碳化硅和氮化鎵兩條產(chǎn)業(yè)鏈,廈門也積極推動(dòng)布局,增大原始創(chuàng)新能力,希望大家共同努力,共創(chuàng)美好明天。
廈門大學(xué)校長(zhǎng)張榮教授主持報(bào)告環(huán)節(jié)
隨后的主題報(bào)告環(huán)節(jié),廈門大學(xué)校長(zhǎng)張榮、郝躍院士共同主持。
中科院院士、西安電子科技大學(xué)郝躍教授分享大會(huì)報(bào)告
中科院院士、國(guó)家自然科學(xué)基金委信息學(xué)部主任、西安電子科技大學(xué)郝躍教授帶來了“寬禁帶半導(dǎo)體電子器件新進(jìn)展”的主題報(bào)告;三安光電股份有限公司林科闖總經(jīng)理帶來了“大功率GaN藍(lán)綠激光器芯片設(shè)計(jì)、生長(zhǎng)和制作 ”的主題報(bào)告;廈門大學(xué)校長(zhǎng)張榮教授介紹了基于寬禁帶半導(dǎo)體量子結(jié)構(gòu)的物理效應(yīng)與器件應(yīng)用;中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所李晉閩研究員帶來了“紫外LED研發(fā)及應(yīng)用進(jìn)展”的主題報(bào)告;廈門大學(xué)講座教授邱宇峰分享了18 kV SiC IGBT的研制;TKK創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室教授Yogi Ota分享了寬帶隙半導(dǎo)體、研發(fā)歷史和實(shí)踐。幾大精彩主題報(bào)告,從技術(shù)、產(chǎn)業(yè),趨勢(shì)的角度,廣度與深度結(jié)合,高屋建瓴,酣暢淋漓,帶來一場(chǎng)知識(shí)與認(rèn)知的激蕩。
郝躍院士在報(bào)告中指出:“如今從世界范圍來看,寬禁帶半導(dǎo)體越來越得到重視,以氮化鎵和碳化硅為代表的寬禁帶半導(dǎo)體開始進(jìn)入發(fā)展成熟期,已經(jīng)從研究階段逐步向產(chǎn)業(yè)化發(fā)展,其中寬禁帶半導(dǎo)體商用化程度越來越高,包括氮化鎵、碳化硅等,而超寬禁帶半導(dǎo)體包括金剛石、氧化鎵和氮化鋁等研究也有了進(jìn)展。”同時(shí)在報(bào)告中也詳細(xì)分享高頻與超高頻電子器件,毫米波GaN SBD、高線性GaN半導(dǎo)體器件,低電壓GaN半導(dǎo)體器件-5G/6G射頻終端器件,Si基GaN—高阻低損耗低翹曲外延與器件技術(shù),超臨界流體提高4H-SiC MOSFET器件性能等最新進(jìn)展以及相關(guān)成果。
三安光電股份有限公司林科闖總經(jīng)理分享大會(huì)報(bào)告
氮化鎵基激光器將半導(dǎo)體激光器的波長(zhǎng)拓展到藍(lán)、綠光波段,帶動(dòng)大色域激光顯示、高亮度激光照明等領(lǐng)域的技術(shù)革新,并正興起為激光加工銅、金等金屬的最好光源。在投影顯示,激光加工,激光照明,存儲(chǔ)等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用前景與廣泛的市場(chǎng)需求。三安光電股份有限公司林科闖總經(jīng)理在報(bào)告中,結(jié)合相關(guān)研究分享了大功率GaN藍(lán)綠激光器芯片設(shè)計(jì)、生長(zhǎng)和制作以及三安光電最新的研發(fā)成果以及發(fā)展路線圖,涉及大功率GaN藍(lán)光激光器特征,GaN綠激光器界面改進(jìn)等。
中科院院士、西安電子科技大學(xué)教授郝躍院士主持報(bào)告環(huán)節(jié)
廈門大學(xué)校長(zhǎng)張榮教授分享大會(huì)報(bào)告
量子結(jié)構(gòu)材料與器件是近年來光電信息功能材料與器件研制的前沿,廈門大學(xué)校長(zhǎng)張榮教授在報(bào)告中,詳細(xì)分享了基于寬禁帶半導(dǎo)體量子結(jié)構(gòu)的物理效應(yīng)與器件應(yīng)用的最新進(jìn)展以及研究成果,涉及到半導(dǎo)體帶隙工程、態(tài)密度工程與元激發(fā)工程,利用帶隙工程提升器件光電性能,利用態(tài)密度工程改善光發(fā)射性能,基于元激發(fā)工程的新型發(fā)光器件等。報(bào)告指出,利用帶隙工程提升器件光電性能,固溶體技術(shù)、異質(zhì)結(jié)構(gòu)以及極化誘導(dǎo)的能帶剪裁,支撐了高效率RGB發(fā)光二極管,高響應(yīng)度雪崩倍增探測(cè)器件的發(fā)展。利用態(tài)密度工程改善光發(fā)射性能,從三維、二維到一維乃至零維的態(tài)密度工程,實(shí)現(xiàn)載流子的多種光電性質(zhì)調(diào)控,包括偏振、載流子輸運(yùn),調(diào)制帶寬,發(fā)散角,自旋和Droop效應(yīng)等。基于元激發(fā)工程的新型發(fā)光器件,基于量子限制結(jié)構(gòu)和金屬等高激元的元激發(fā)調(diào)控形成了多粒子耦合的準(zhǔn)粒子,提升了寬帶隙材料的自發(fā)輻射率,實(shí)現(xiàn)了低閾值激光和偏振調(diào)控。
中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所李晉閩研究員分享大會(huì)報(bào)告
隨著紫外光固化技術(shù)日臻成熟,其在固化領(lǐng)域的應(yīng)用份額在逐年上升。新冠疫情加速了紫外殺菌消毒市場(chǎng)培育,對(duì)深紫外LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展起到了極大的推動(dòng)作用,吸引更多的企業(yè)投資深紫外LED產(chǎn)業(yè)。在生物醫(yī)療、防偽鑒定、凈化領(lǐng)域、計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和軍事領(lǐng)域,紫外LED技術(shù)不斷取得突破,新的應(yīng)用替代也在不斷發(fā)生。尚處于技術(shù)發(fā)展期的紫外LED技術(shù)已呈現(xiàn)出廣闊的市場(chǎng)應(yīng)用前景,有望繼通用照明之后,成為半導(dǎo)體光電領(lǐng)域又一具有巨大市場(chǎng)前景的新興產(chǎn)業(yè)。李晉閩研究員在報(bào)告中全面分享了紫外LED技術(shù)現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢(shì),紫外LED應(yīng)用示范與產(chǎn)業(yè)機(jī)遇。他表示,氮化物深紫外LED作為下一代紫外光源,具有廣闊的應(yīng)用前景,紫外LED應(yīng)用市場(chǎng)正面臨快速增長(zhǎng)的良好機(jī)遇,及早部署,把握先機(jī),方可有望成為未來的市場(chǎng)領(lǐng)導(dǎo)者。深紫外LED產(chǎn)業(yè)面臨著從裝備、外延、芯片到封裝中的一系列技術(shù)挑戰(zhàn),其中尤其以裝備和外延最為核心,開發(fā)出高性能的深紫外MOCVD裝備是突破 深紫外LED產(chǎn)業(yè)瓶頸的關(guān)鍵。
廈門大學(xué)講座教授邱宇峰分享大會(huì)報(bào)告
大功率電力電子器件是推動(dòng)電網(wǎng)向柔性半導(dǎo)體化方向發(fā)展的電力電子裝備的核心,碳化硅電力電子器件已經(jīng)成為國(guó)內(nèi)外研究和產(chǎn)業(yè)化熱點(diǎn),電力電子裝備技術(shù)隨功率半導(dǎo)體器件的發(fā)展而逐代演進(jìn)。功率半導(dǎo)體器件的發(fā)展是推動(dòng)力電網(wǎng)電力電子裝備演進(jìn)關(guān)鍵因素。碳化硅器件具有高結(jié)溫、高電壓、高頻的特點(diǎn),非常適合電網(wǎng)應(yīng)用,其廣泛應(yīng)用將推動(dòng)電網(wǎng)的電力電子化進(jìn)程。高壓大功率碳化硅器件研制仍需突破電流密度、大尺寸襯底外延、低寄生參數(shù)封裝,成品率等問題。邱宇峰教授在報(bào)告中分享了能源轉(zhuǎn)型背景下電網(wǎng)形態(tài)的演進(jìn),硅基器件制約電網(wǎng)柔性半導(dǎo)體化進(jìn)程,高壓SiC IGBT面臨的襯底質(zhì)量、外延生長(zhǎng)、芯片設(shè)計(jì)、芯片工藝以及芯片解決方案、器件解決方案,封裝解決方案等。他表示,新能源為主題的新型電力系統(tǒng),要求電力電子裝備在電力系統(tǒng)各個(gè)層面起到?jīng)Q定性支撐作用。硅器件性能參數(shù)已經(jīng)接近極限,碳化硅器件的應(yīng)用將大大推動(dòng)電網(wǎng)柔性化、電力電子化進(jìn)程。
KK創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室Yogi Ota教授遠(yuǎn)程云視頻報(bào)告
因?yàn)橐咔樽韪簦琄K創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室Yogi Ota教授通過遠(yuǎn)程云視頻報(bào)告,分享了寬帶隙半導(dǎo)體、研發(fā)歷史和實(shí)踐等內(nèi)容,從不同角度分享了最新進(jìn)展,包括射頻功率的材料比較、電力應(yīng)用熱模擬等。
除了精彩的開幕式報(bào)告,大會(huì)還同期設(shè)置了“材料生長(zhǎng)與表征”、“光電子器件及應(yīng)用”、“電力電子器件及應(yīng)用”、“新型寬禁帶半導(dǎo)體材料及應(yīng)用”和青年論壇五場(chǎng)同期分會(huì),并有POSTER交流和企業(yè)展覽展示。前沿研究?jī)?nèi)容分享交相輝映,讓與會(huì)的嘉賓和青年科研代表享受到寬禁帶技術(shù)“科研盛宴”。更多精彩,請(qǐng)關(guān)注半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng):http://www.casmita.com/news/
分會(huì)場(chǎng)之一
展示交流
POSTER交流
POSTER交流