近日,韓媒報道,韓國半導體晶圓研磨拋光設備廠商NTS將于5月發布8英寸半導體晶圓研磨設備 "Edge Grinder ",該設備可將晶圓的外徑精確加工成任何所需的形狀。此前,NTS已發布了6英寸的晶圓研磨設備。
據了解,NTS成立于2002年,是一家韓國設備企業,主要生產LED晶圓研磨拋光設備,NTS計劃成為一家專注于前期與后期處理封裝設備業務的企業。目前,NTS為三星電子、首爾半導體、LG Display、歐司朗、華燦光電等公司提供設備。
圖片來源:NTS官網
據韓媒介紹,NTS宣布將于5月完成新型晶圓研磨設備"Edge Grinder"的開發。新設備采用金剛石磨砂盤研磨8英寸晶圓的外徑和邊緣,通過新設備的研磨,晶圓可以精確加工成客戶所需的尺寸和形狀。
NTS新研磨設備其中一個重要特點是可將影響晶圓生產過程的質量的振動或負載最小化,NTS總經理表示,新研磨設備"Edge Grinder"使用精密的CCD傳感器準確識別晶圓位置和晶圓形狀,客戶可通過工件旋轉定位晶圓,并通過精密旋轉將設備負載降至最低,因此"Edge Grinder"的生產效率和速度優于其他設備廠家。
另外,NTS總經理透露,目前,NTS正在推動洽談8英寸研磨設備的業務發展,望通過更高的生產力和更低的價格擴大NTS在半導體研磨設備的市場份額。
據悉,NTS此前已量產了6英寸的研磨設備"Edge Grinder",目前6英寸研磨設備已向中國半導體晶圓公司中華半導體供應。韓媒透露,近期NTS 6英寸設備訂單量增加,今年上半年NTS將向晶圓制造商供應約30臺設備,預計銷售額將達到70~80億韓元。(LEDinside Irving編譯)