愛(ài)思強(qiáng)表示，市場(chǎng)對(duì)RGB自發(fā)光Micro LED的需求開(kāi)始強(qiáng)勢(shì)增長(zhǎng)，為此，華燦光電將使用愛(ài)思強(qiáng)的行星式反應(yīng)器平臺(tái)來(lái)滿足新興市場(chǎng)對(duì)Micro LED顯示屏的需求。

 

　　本次華燦光電訂購(gòu)的 AIX 2800G4-TM (IC2) 和 AIX G5+ C 型號(hào)MOCVD設(shè)備都將采用8×6英寸的配置，設(shè)備已于2021年第四季度發(fā)貨。

 

　　愛(ài)思強(qiáng)指出，華燦光電所處的Micro LED技術(shù)領(lǐng)域是一個(gè)強(qiáng)大的新興市場(chǎng)，也是顯示行業(yè)的游戲規(guī)則改變者。與現(xiàn)有顯示技術(shù)相比，Micro LED技術(shù)可實(shí)現(xiàn)無(wú)與倫比的像素分辨率、卓越的顯示質(zhì)量和更高的電流效率。為了實(shí)現(xiàn)這些優(yōu)勢(shì)，下一代LED顯示屏需要將數(shù)百萬(wàn)微米級(jí)的LED轉(zhuǎn)移到一個(gè)顯示屏上，這使得新型轉(zhuǎn)移技術(shù)的開(kāi)發(fā)迫在眉睫。

 

　　愛(ài)思強(qiáng)一直致力于研發(fā)助力Micro LED量產(chǎn)的MOCVD設(shè)備。其指出，MOCVD作為外延技術(shù)的核心設(shè)備，也需要不斷創(chuàng)新以滿足Micro LED規(guī)?；慨a(chǎn)的需求，具體來(lái)說(shuō)，所有外延片必須具有非常緊密的波長(zhǎng)分布和極低的表面缺陷水平。

 

　　而愛(ài)思強(qiáng)的行星式反應(yīng)器平臺(tái)在外延過(guò)程中可對(duì)薄膜表面溫度進(jìn)行晶圓級(jí)控制，精準(zhǔn)控制銦與多量子阱（MQW）的融合，幫助實(shí)現(xiàn)更好的波長(zhǎng)均勻性。同時(shí)，C2C自動(dòng)卡匣晶圓傳輸技術(shù)與原位清潔技術(shù)相結(jié)合，可確保在處理過(guò)程或外延制處理過(guò)程中沒(méi)有顆粒污染薄膜。

 

　　對(duì)于此次合作，華燦光電首席執(zhí)行官周建會(huì)博士表示：“在過(guò)去的 15 年里，愛(ài)思強(qiáng)一直是我們值得信賴的MOCVD解決方案合作伙伴。我們很高興現(xiàn)在加強(qiáng)了與愛(ài)思強(qiáng)在Micro LED產(chǎn)品領(lǐng)域的合作。愛(ài)思強(qiáng)的行星式反應(yīng)器平臺(tái)已被證明具有最佳的均勻性和低顆粒性能，相信這是Micro LED商業(yè)化關(guān)鍵的一步，有助于鞏固華燦光電在顯示市場(chǎng)的領(lǐng)先地位。”

 

　　愛(ài)思強(qiáng)首席執(zhí)行官兼總裁Felix Grawert博士則表示：“我們很高興華燦光電作為Micro LED市場(chǎng)的主要參與者，選擇了我們的AIX G5+ C和AIX2800G4-TM系統(tǒng)來(lái)進(jìn)一步開(kāi)發(fā)Micro LED生產(chǎn)工藝。我們期待Micro LED顯示產(chǎn)品的加速推出。”