據韓媒報道,德國默克公司將開始在韓國生產化學機械拋光 (CMP) 漿料,預計將于2022年上半年開始交付。
據韓媒梳理,此前默克已經在京畿道平澤市建設了CMP漿料生產線。
默克還準備在韓國生產極紫外 (EUV) 光刻工藝所需沖洗液。該產品在 EUV 曝光過程后起到去除殘留物的作用。
韓媒稱,默克于 2019 年收購的 Versum Materials 也計劃擴大韓國半導體市場業務,該公司向三星電子等企業供應雙重微影技術 (DPT) 材料,目前三星電子大約一半的 DPT 材料依賴 Versum Materials。