6月10日消息，據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道，5nm工藝量產(chǎn)已兩年的臺(tái)積電，正在推進(jìn)3nm工藝的量產(chǎn)事宜，這一制程工藝在去年下半年已風(fēng)險(xiǎn)試產(chǎn)，按計(jì)劃將在今年下半年大規(guī)模量產(chǎn)。
而除了3nm制程工藝，臺(tái)積電也在謀劃更先進(jìn)的2nm工藝的量產(chǎn)事宜，這一工藝計(jì)劃在2025年量產(chǎn)。
外媒的報(bào)道顯示，臺(tái)積電在近期已宣布，他們將投資340億美元，推動(dòng)2nm制程工藝的量產(chǎn)，他們已經(jīng)獲得了建廠土地的租賃許可。
另外，有外媒在報(bào)道中表示，臺(tái)積電的高層，正在同相關(guān)方，就建設(shè)2nm制程工藝工廠所需的土地進(jìn)行談判，超過90%的業(yè)主已經(jīng)同意，預(yù)計(jì)最遲在6月份能獲得建廠所需的全部土地。
除了土地，臺(tái)積電2nm制程工藝工廠在廠房的建設(shè)方面也需要大量的資金，但花費(fèi)最多的，預(yù)計(jì)會(huì)是更高端的極紫外光刻機(jī)和其他的先進(jìn)設(shè)備。
臺(tái)積電從第二代的7nm工藝開始采用極紫外光刻機(jī)，隨后量產(chǎn)的5nm等先進(jìn)制程工藝，都需要極紫外光刻機(jī)，他們也從阿斯麥采購(gòu)了大量的極紫外光刻機(jī)，而更先進(jìn)的2nm工藝所需要的將是高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)。
阿斯麥已經(jīng)推出的TWINSCAN NXE:3400B、TWINSCAN NXE:3400C、TWINSCAN NXE:3600D極紫外光刻機(jī)中，最先進(jìn)的TWINSCAN NXE:3600D最高也只能支持5nm和3nm工藝的量產(chǎn)。
而從阿斯麥一季度的財(cái)報(bào)來看，他們?cè)诮衲暌患径冉桓?臺(tái)極紫外光刻機(jī)，營(yíng)收5.94億歐元，平均一臺(tái)的售價(jià)接近2億歐元。未來推出的支持2nm制程工藝的更先進(jìn)的極紫外光刻機(jī)，售價(jià)將會(huì)更高。
