開(kāi)幕大會(huì)現(xiàn)場(chǎng)
 

山西省副省長(zhǎng)于英杰，中國(guó)科學(xué)院院士侯洵，中科院院士、西安電子科技大學(xué)教授郝躍，中科院外籍院士、中科院北京納米能源所所長(zhǎng)王中林，國(guó)家漢辦原主任許琳，廈門(mén)大學(xué)黨委書(shū)記、教授張榮，中北大學(xué)黨委書(shū)記、教授沈興全，太原市委副書(shū)記、市長(zhǎng)張新偉，科技部發(fā)展計(jì)劃司原司長(zhǎng)王曉方，國(guó)際半導(dǎo)體照明聯(lián)盟（ISA）、科技部國(guó)際合作司原司長(zhǎng)靳曉明，科技部高新技術(shù)司原司長(zhǎng)秦勇，中國(guó)有色金屬學(xué)會(huì)理事長(zhǎng)賈明星，第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟與中關(guān)村半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟理事長(zhǎng)吳玲，基金委信息學(xué)部副主任何杰，科技部高新司材料處調(diào)研員曹學(xué)軍，中科院半導(dǎo)體研究所副所長(zhǎng)薛春來(lái)，北京大學(xué)理學(xué)部副主任、寬禁帶半導(dǎo)體研究中心主任、教授沈波，中國(guó)科學(xué)院蘇州納米所研究員徐科等領(lǐng)導(dǎo)以及一大批業(yè)界資深專家、教授和優(yōu)秀中青年學(xué)者出席本次會(huì)議。來(lái)自MOCVD技術(shù)領(lǐng)域重量級(jí)專家、機(jī)構(gòu)嘉賓、學(xué)者、企業(yè)家代表近700人參與本次學(xué)術(shù)盛會(huì)。大會(huì)開(kāi)幕式由大會(huì)主席、中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所李晉閩研究員主持。

 

半導(dǎo)體設(shè)備與材料多年來(lái)一直被視為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展的一大瓶頸和短板。隨著國(guó)內(nèi)新一輪集成電路投資擴(kuò)產(chǎn)熱潮的興起，半導(dǎo)體設(shè)備需求也水漲船高。MOCVD作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最為核心的重大裝備之一，其技術(shù)進(jìn)步是學(xué)術(shù)界與產(chǎn)業(yè)界一直以來(lái)共同關(guān)注的話題。

 

本屆會(huì)議由國(guó)家科學(xué)技術(shù)部、山西省科學(xué)技術(shù)廳指導(dǎo)，太原市人民政府、中國(guó)有色金屬學(xué)會(huì)、中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、中關(guān)村半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟（CSA）、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟（CASA）聯(lián)合主辦，半導(dǎo)體照明聯(lián)合創(chuàng)新國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、北京第三代半導(dǎo)體材料及應(yīng)用工程技術(shù)研究中心、山西中科潞安紫外光電科技有限公司、北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司共同承辦，中北大學(xué)、太原理工大學(xué)、山西師范大學(xué)、山西浙大新材料與化工研究院協(xié)辦。

 

其中，陜西科技大學(xué)材料原子·分子科學(xué)研究所、中科潞安、中微公司、云南鑫耀、AIXTRON  SE、馬爾文帕納科、南大光電、上海先普、Horiba堀場(chǎng)、中鎵半導(dǎo)體、中晟光電、康鵬半導(dǎo)體、賽微儀器、納維科技、志橙半導(dǎo)體、伯奢詠懷、承明光電、中拓光電、賽默飛、正通遠(yuǎn)恒、金竟科技、鵬城半導(dǎo)體、尚勤光電、鎵特半導(dǎo)體、頤光科技、中博芯、芯港半導(dǎo)體、佰技奧、六方碳素、聚睿眾邦、凱威碳、力冠微電子、上海匯析、興晟新材料、德智新材、嘉儀通科技、江蘇第三代半導(dǎo)體研究院等來(lái)自半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備、襯底材料、外延芯片、測(cè)量、檢測(cè)、石墨國(guó)內(nèi)外知名廠商機(jī)構(gòu)亮相本次會(huì)議，助力MOCVD關(guān)鍵設(shè)備及技術(shù)產(chǎn)學(xué)研用合作，加速先進(jìn)光電技術(shù)與智能綠色制造國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。會(huì)議圍繞“探索材料新動(dòng)能 · 智創(chuàng)未來(lái)芯發(fā)展”這一主題開(kāi)展廣泛又深入的交流探討。

山西省副省長(zhǎng)于英杰、全國(guó)政協(xié)教科衛(wèi)體委員會(huì)副主任、原科技部副部長(zhǎng)曹健林，太原市委副書(shū)記、市長(zhǎng)張新偉，中國(guó)有色金屬學(xué)會(huì)理事長(zhǎng)賈明星、中科院半導(dǎo)體研究所副所長(zhǎng)薛春來(lái)等通過(guò)線上線下方式為大會(huì)開(kāi)幕致詞。

山西省副省長(zhǎng)于英杰出席大會(huì)并致辭

 

全國(guó)政協(xié)教科衛(wèi)體委員會(huì)副主任、原科技部副部長(zhǎng)曹健林為大會(huì)致辭
 

全國(guó)政協(xié)教科衛(wèi)體委員會(huì)副主任、原科技部副部長(zhǎng)曹健林采用線上方式為大會(huì)致辭。他表示，MOCVD技術(shù)支持并引領(lǐng)了化合物半導(dǎo)體的發(fā)展，已成為第三代半導(dǎo)體材料及器件不可或缺的關(guān)鍵技術(shù)，我國(guó)MOCVD技術(shù)也經(jīng)歷了一段長(zhǎng)期的歷史發(fā)展過(guò)程。第三代半導(dǎo)體材料在國(guó)內(nèi)的成長(zhǎng)可以說(shuō)是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)在發(fā)展中國(guó)家成長(zhǎng)普及，并不斷走向更大更廣應(yīng)用的典型。過(guò)去20多年是中國(guó)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和MOCVD大發(fā)展的一段特殊的歷史時(shí)期，我們?cè)诤芏囝I(lǐng)域都走在了世界前列，我國(guó)的高新技術(shù)在不斷的向中西部地區(qū)擴(kuò)展。山西省非常重視相關(guān)技術(shù)的發(fā)展，并把它作為新技術(shù)成長(zhǎng)的一個(gè)代表，也希望有更多新的研發(fā)成果和產(chǎn)業(yè)技術(shù)被帶到山西，促進(jìn)山西高新技術(shù)發(fā)展不斷取得成功。

中國(guó)有色金屬學(xué)會(huì)理事長(zhǎng)賈明星為大會(huì)致辭

 

MOCVD技術(shù)已在各類重要化合物材料與器件制備上得到了廣泛的應(yīng)用，極大推動(dòng)了各類光電子和微電子器件的發(fā)展和產(chǎn)業(yè)化。中國(guó)有色金屬學(xué)會(huì)理事長(zhǎng)賈明星致辭時(shí)表示，我國(guó)有色金屬行業(yè)通過(guò)產(chǎn)學(xué)研用技術(shù)攻關(guān)，自主創(chuàng)新等努力，不斷突破技術(shù)瓶頸，逐步縮小了與國(guó)際先進(jìn)技術(shù)水平的差距，迅速實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)的升級(jí)。新世紀(jì)以來(lái)，在國(guó)家創(chuàng)新技術(shù)的指引下，我國(guó)有色金屬行業(yè)實(shí)現(xiàn)了跨越式發(fā)展，取得了一批重要的科研成果，研發(fā)了一批具有領(lǐng)先水平的工藝，技術(shù)和裝備。今年以來(lái)，面對(duì)復(fù)雜的國(guó)內(nèi)外環(huán)境，有色金屬行業(yè)運(yùn)行保持總體向好的態(tài)勢(shì)。不過(guò)，有色金屬工業(yè)仍然面臨能源資源的制約和高性能材料發(fā)展落后的短板，特別是裝備依然依賴進(jìn)口。盡快突破第三代半導(dǎo)體材料及器件制備關(guān)鍵技術(shù)是半導(dǎo)體廣大科技工作者的光榮使命和歷史責(zé)任，希望科研力量多多交流，為推動(dòng)MOCVD技術(shù)和半導(dǎo)體材料的發(fā)展貢獻(xiàn)力量。

中科院半導(dǎo)體研究所副所長(zhǎng)薛春來(lái)為大會(huì)致辭

 

從上個(gè)世紀(jì)五六十年代開(kāi)始，我國(guó)已將半導(dǎo)體技術(shù)列為國(guó)家重要的新技術(shù)之一，中科院半導(dǎo)體研究所副所長(zhǎng)薛春來(lái)致辭表示，中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所建所60多年來(lái)始終踐行半導(dǎo)體國(guó)家隊(duì)的使命擔(dān)當(dāng)，在我國(guó)半導(dǎo)體發(fā)展的各個(gè)歷史階段都曾做過(guò)重要貢獻(xiàn)，在半導(dǎo)體基礎(chǔ)物理，核心材料和關(guān)鍵器件與系統(tǒng)集成等領(lǐng)域取得了一系列重大突破，有力推動(dòng)了我國(guó)半導(dǎo)體科研及產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展。近年來(lái)深紫外LED相關(guān)科研成果也在山西落地生長(zhǎng)，并取得了顯著的社會(huì)和經(jīng)濟(jì)效益，為山西的創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)型發(fā)展做出了積極貢獻(xiàn)。當(dāng)前，國(guó)際形勢(shì)風(fēng)云變幻，面對(duì)日益嚴(yán)峻的科技博弈，科技自立自強(qiáng)已成為抓住重大戰(zhàn)略機(jī)遇應(yīng)對(duì)風(fēng)險(xiǎn)挑戰(zhàn)的必然選擇，希望廣大半導(dǎo)體人共同為我國(guó)MOCVD和化合物半導(dǎo)體科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展建言獻(xiàn)策，發(fā)展新理念，帶來(lái)新動(dòng)力。

 

在大會(huì)主題報(bào)告環(huán)節(jié)，大會(huì)主席、中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所李晉閩研究員與第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、中關(guān)村半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟理事長(zhǎng)吳玲共同主持。

大會(huì)主席、中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所李晉閩研究員主持大會(huì)報(bào)告環(huán)節(jié)

大會(huì)主席、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、中關(guān)村半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟理事長(zhǎng)吳玲主持大會(huì)報(bào)告環(huán)節(jié)
 

中國(guó)科學(xué)院院士、西安電子科技大學(xué)郝躍教授帶來(lái)了“超寬禁帶半導(dǎo)體器件與材料的若干新進(jìn)展 ”的主題報(bào)告；中科院外籍院士、中國(guó)科學(xué)院北京納米能源與系統(tǒng)研究所王中林院士帶來(lái)了“第三代半導(dǎo)體中的壓電電子學(xué)與壓電光電子學(xué)“的主題報(bào)告；廈門(mén)大學(xué)校長(zhǎng)張榮教授介紹了氮化物半導(dǎo)體基 Micro-LED顯示技術(shù)新進(jìn)展；大會(huì)主席、中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所李晉閩研究員帶來(lái)了“氮化物深紫外LED光源助力公共衛(wèi)生安全 ”的主題報(bào)告。幾大精彩主題報(bào)告，從技術(shù)、應(yīng)用、產(chǎn)業(yè)，趨勢(shì)等角度，前沿與務(wù)實(shí)，廣度與深度結(jié)合，為技術(shù)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展帶來(lái)新的思路與視角。

中科院院士、西安電子科技大學(xué)教授郝躍分享大會(huì)報(bào)告
 

寬禁帶和超寬禁帶半導(dǎo)體材料和器件是當(dāng)前和未來(lái)重要的研究領(lǐng)域和有挑戰(zhàn)性的方向，是高能效電子器件發(fā)展的重要代表，并逐漸引起各方的重視，國(guó)際上針對(duì)金剛石和氧化鎵為代表的超寬禁帶半導(dǎo)體材料也開(kāi)始呈現(xiàn)出新的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)抗態(tài)勢(shì)。郝躍院士在報(bào)告中具體詳細(xì)分享了代表性的氧化鎵半導(dǎo)體材料與器件，金剛石半導(dǎo)體材料與器件，高AI-AIGaN器件等材料器件國(guó)內(nèi)外的最新技術(shù)水平、研究進(jìn)展以及國(guó)內(nèi)研究力量的最新研究成果，技術(shù)難點(diǎn)的解決方案和應(yīng)用進(jìn)展。郝院士表示，超寬緊帶半導(dǎo)體有其自身獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)，應(yīng)用也逐漸向好的方向發(fā)展，會(huì)有很好的發(fā)展前景，也建議國(guó)內(nèi)企業(yè)多關(guān)注超寬禁帶材料的研究。

中科院外籍院士、中科院北京納米能源所所長(zhǎng)王中林分享大會(huì)報(bào)告

 

寬禁帶材料具有非中心對(duì)稱的晶體結(jié)構(gòu)，因而表現(xiàn)出顯著的壓電特性，長(zhǎng)期以來(lái)這些材料中壓電極化電荷和半導(dǎo)體特性的耦合過(guò)程被忽略。近年來(lái)對(duì)于壓電電子學(xué)和壓電光電子學(xué)的基礎(chǔ)及應(yīng)用研究取得了快速地發(fā)展。多種功能材料中的壓電電子學(xué)和壓電光電子學(xué)的基本效應(yīng)得到了系統(tǒng)深入地研究，相關(guān)的理論體系得以建立，諸多壓電電子學(xué)和壓電光電子學(xué)器件也被設(shè)計(jì)研發(fā)。會(huì)上，王中林院士帶來(lái)了壓電學(xué)理論與研究成果的分享，報(bào)告結(jié)合具體的數(shù)據(jù)內(nèi)容，分享了當(dāng)前壓電學(xué)的研究進(jìn)展與最前沿的研究成果，涉及壓電學(xué)的多種效應(yīng)，同時(shí)從壓電學(xué)與第三代半導(dǎo)體材料和應(yīng)用發(fā)展關(guān)聯(lián)性的原理角度，帶來(lái)不同新視角的啟發(fā)。

廈門(mén)大學(xué)黨委書(shū)記張榮教授分享大會(huì)報(bào)告
 

第三代半導(dǎo)體材料在不同領(lǐng)域的應(yīng)用非常廣泛，其中，LED可以說(shuō)是其第一個(gè)較成熟的應(yīng)用突破口，伴隨著“元宇宙”等新時(shí)代的展開(kāi)，Micro-LED顯示應(yīng)用又迎來(lái)了一波新的發(fā)展機(jī)遇，作為應(yīng)用的支撐，技術(shù)的發(fā)展水平非常重要。張榮教授分享了其帶領(lǐng)的團(tuán)隊(duì)在氮化物半導(dǎo)體基顯示技術(shù)方面的最新研究及成果。報(bào)告結(jié)合Micro-LED的優(yōu)勢(shì)與挑戰(zhàn)，從外延結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、芯片制備、全彩化方案、系統(tǒng)集成、納米LED等方面詳細(xì)分享了團(tuán)隊(duì)最新的多個(gè)研究發(fā)現(xiàn)和研究成果。研究提出并實(shí)現(xiàn)了AI輔助外延結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方法，采用側(cè)壁修復(fù)鈍化及離子注入等方法大幅提升了Micro-LED器件性能。成功實(shí)現(xiàn)了氮化物紅光Micro-LED，量子點(diǎn)色轉(zhuǎn)換紅光Micro-LED等全彩化技術(shù)。開(kāi)發(fā)出多款新型集成技術(shù)，采用多種方法，實(shí)現(xiàn)系列納米LED。

大會(huì)主席、中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所李晉閩研究員分享大會(huì)報(bào)告
 

當(dāng)前，人們對(duì)于綠色、環(huán)保、安全的重視度在不斷的提高，隨著全球化加速發(fā)展，公共衛(wèi)生風(fēng)險(xiǎn)對(duì)人口流動(dòng)和經(jīng)濟(jì)活動(dòng)造成前所未有的限制，防范和化解重大疫情和突發(fā)公共衛(wèi)生風(fēng)險(xiǎn)的重要性不言而喻。基于第三代半導(dǎo)體氮化鎵材料的紫外LED光源具有節(jié)能環(huán)保、壽命長(zhǎng)、開(kāi)啟速度快、輻射強(qiáng)度可控、光譜可定制等優(yōu)勢(shì)，成為維護(hù)公共衛(wèi)生安全的重要力量。紫外LED是半導(dǎo)體光電產(chǎn)業(yè)發(fā)展的新藍(lán)海，“雙碳”戰(zhàn)略也給包括紫外LED產(chǎn)業(yè)在內(nèi)的綠色環(huán)保節(jié)能產(chǎn)業(yè)帶來(lái)新的發(fā)展契機(jī)。當(dāng)前氮化物深紫外LED仍面臨來(lái)自深紫外專用的MOCVD設(shè)備，低缺陷密度的高AI組分氮化物材料、深紫外波段的封裝材料與工藝等方面的技術(shù)挑戰(zhàn)。李晉閩研究員在報(bào)告中全面詳細(xì)分享了氮化物深紫外LED技術(shù)研發(fā)進(jìn)展與發(fā)展趨勢(shì)，氮化物深紫外LED應(yīng)用示范與產(chǎn)業(yè)機(jī)遇。報(bào)告指出，未來(lái)氮化物深紫外LED技術(shù)將向新型高效量子結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、量子阱極性調(diào)控技術(shù)、高電導(dǎo)率透明p型AIGaN層制備技術(shù)，納米結(jié)構(gòu)深紫外波段透明等方向發(fā)展。應(yīng)用領(lǐng)域也將呈現(xiàn)多場(chǎng)景多樣態(tài)以及平臺(tái)化等趨勢(shì)。

 

除了精彩的開(kāi)幕式報(bào)告，大會(huì)還同期設(shè)置了“材料生長(zhǎng)及物性表征 ”、“光電子材料與器件 ”、“功率電子與射頻電子器件”及“新興半導(dǎo)體材料及應(yīng)用”四個(gè)主題分會(huì)，并有POSTER交流和企業(yè)展覽展示。前沿研究?jī)?nèi)容與應(yīng)用展示結(jié)合，前瞻性與落地性兼顧，盡力為與會(huì)嘉賓和青年科研代表提供前沿技術(shù)研究進(jìn)展以及更多的研發(fā)視角。

 
現(xiàn)場(chǎng)交流
 

此次大會(huì)同時(shí)開(kāi)通了開(kāi)閉幕式精彩主題報(bào)告現(xiàn)場(chǎng)直播，更有圖片直播實(shí)時(shí)呈現(xiàn)，與業(yè)界共享精彩內(nèi)容，更多詳細(xì)豐富內(nèi)容可掃碼觀看：

 

開(kāi)幕大會(huì)直播回放二維碼：

圖片直播二維碼：