天眼查知識產(chǎn)權(quán)信息顯示,佛山市國星光電股份有限公司申請一項名為“一種集成式芯片的封裝方法和封裝結(jié)構(gòu)“,公開號CN202410344036.5,申請日期為2024年3月。
專利摘要顯示,本發(fā)明公開了一種集成式芯片的封裝方法和封裝結(jié)構(gòu),涉及封裝技術(shù)領(lǐng)域,包括以下步驟:器件晶圓的正面形成介質(zhì)層,器件晶圓中成型有第一芯片,第一芯片設(shè)有第一焊盤,介質(zhì)層露出第一焊盤;在第一芯片表面的介質(zhì)層上形成粘合層;在粘合層中形成開口;在第一焊盤上形成導(dǎo)電凸塊;第二芯片設(shè)有第二焊盤,第二焊盤和導(dǎo)電凸塊連接,第二芯片和粘合層粘接,第二芯片封閉開口形成空腔;在器件晶圓的正面形成封裝層,覆蓋第二芯片;在器件晶圓中形成導(dǎo)通結(jié)構(gòu),一端和第一芯片連接,另一端成型有第三焊盤,第三焊盤位于器件晶圓的背面。本發(fā)明直接在器件晶圓上完成芯片的集成封裝制程,能有效降低封裝成本,提高封裝密度、封裝質(zhì)量和封裝效率。