近期,由深圳市壹倍科技有限公司(以下簡稱“壹倍”)自主研發與生產的Micro LED巨量檢測設備陸續批量出機,并成功交付行業頭部客戶。這些設備憑借壹倍的卓越技術實力,有效提供巨量檢測的全面解決方案,攻克客戶的量產痛點,為行業發展注入了強大的動力。
自2022年壹倍推出國內首套Micro LED晶圓級巨量檢測系統α-INSPEC系列以來,公司不斷與全產業鏈客戶開展深度技術合作,積累了豐富的行業經驗,從檢測的視角出發,在Micro LED生產技術的“良率、精度、效率”這三個維度上持續突破,挑戰行業極限。這一系列的努力不僅贏得了行業頭部客戶的廣泛認可和青睞,更堅定了壹倍推動中國化合物半導體產業檢測設備全面國產化的決心。
技術突破,從效能出發加速產業發展
壹倍批量交付的Micro LED巨量檢測設備采用了 PL(Photoluminesence, 光致發光)檢測技術,實現了無接觸、非破壞性和超快速的發光性能檢測。PL技術是將特定光束作為驅動力,代替探針接觸向MicroLED芯粒注入能量實現無接觸的MicroLED發光,繼而實現對MicroLED的光學和光譜學檢測。壹倍掌握的Micro PL 技術可在數分鐘內檢測Micro LED COW(chip on wafer)或 COC(chip on carrier)晶圓上數千萬顆芯粒的亮度和光譜信息,最小已驗證可檢測芯粒尺寸3μm*3μm,其難點是在保持高的空間分辨率基礎上同時達到高光譜分辨率、高靈敏度(特別是紅光芯片)和高可靠性。通過Micro PL檢測技術解決MicroLED微型化后生產鏈路中的工藝控制和良率監控難題,已經是行業公認的適用于量產的解決方案。Micro LED生產企業通過建立標準化綜合測試能力,可以大幅減少后道工序的修補成本,提高總體良率并降低終端產品成本,共同加速產業發展。目前,壹倍在Micro LED 行業PL檢測領域持續保持領頭羊角色,并已規劃開發下一代Enhanced Micro PL檢測技術,旨在深度解決規模化生產中的良率管理痛點。
同時,基于用戶導向的價值理念,針對下游客戶在COC巨量轉移段的高通量的芯粒位置量測和缺陷檢測需求,壹倍也推出了相應的產品線。為了達到巨量芯片位置量測精度和速度的要求,壹倍在硬件方面與上游光學零部件廠商合作,采用了高NA、超大視野的線掃成像系統;在軟件及算法方面,基于近幾年在產線實踐過程中針對巨量芯粒檢測(單wafer超億顆芯片)的數據分析和處理經驗,不斷改進算法效率提高檢測速度,并自主開發了系統誤差整合分析和校準技術,以在控制整體BOM成本的前提下達到亞微米級的全局位移量測精度。
通過結合PL、AOI及其他在研光學檢測技術,壹倍已全面具備面向MicroLED行業晶圓級檢測場景提供全鏈條量產解決方案的能力。
市場突圍,領頭Micro LED國產化檢測領域
隨著Micro LED產業鏈的日漸成熟,其發展路徑愈發明晰。步入2024年,Apple公司在手表領域MicroLED的應用遭遇了重大停滯,但事實證明這并未影響其它場景的Micro LED技術和產品的前景和迭代更新。諸如大尺寸電視、商用顯示、車載半透明顯示、AR微顯示等具備關鍵功能差異化的場景大放異彩,上游芯片企業、巨量轉移廠商和老牌面板巨頭均加大投入力度,開始跨入規模化量產階段,國產檢測方案和設備已成為MicroLED實現規模化量產、優化關鍵工藝流程的必爭高地。
面對這一充滿機遇的市場,壹倍科技在穩固國內行業領先地位的同時,積極調整市場策略,于今年第二季度啟動了臺灣及海外市場拓展計劃。目前,壹倍已與臺廠客戶實現全面對接,并將在今年迎來化合物半導體領域國產前道檢測設備首次海外出貨的里程碑時刻。壹倍始終堅持晶圓級檢測核心技術的研發與創新,致力于為Micro LED顯示行業的規模化量產以及大幅降本貢獻重要力量!
關于壹倍
壹倍科技于2020年在深圳市寶安區正式成立,并先后在上海、廈門設立分部,擁有近5000㎡的現代化研發和生產基地。公司的核心團隊由海內外知名高校和半導體設備企業高層次人才組成,具備半導體物理理論、材料表征分析、自研高端光學部件以及精密機電自動化等研發背景與系統工程產業化經驗。目前公司員工近百人,專業研發人員占比近70%。
公司自成立以來,獲得了多輪知名機構外部融資,并榮獲高新技術企業、專精特新等榮譽。壹倍科技堅持以材料分析和光譜光學技術為基礎,致力于提高化合物半導體的襯底、外延及芯片的制程控制和良率管理水平,為Mini/MicroLED新型顯示、SiC功率器件等蓬勃發展的先進應用領域,提供定量化、標準化和智能化的檢測工具,助力中國半導體設備行業實現從產業升級到全球領先的目標。