8月2日,據中微公司官微消息,中微公司宣布其臨港產業化基地正式啟用。據悉,中微公司臨港產業化基地占地約157畝、總建筑面積約18萬平方米,配備實驗室、潔凈室、生產車間及智能化立體倉庫等設施,可實現生產全程數字化、智能化管理。
圖片來源:中微公司
項目進展方面,2023年7月,14萬平方米的中微公司南昌生產研發基地落成并投入使用;目前,位于滴水湖畔的中微臨港總部暨研發大樓也正在建設中,建成后占地面積約10萬平方米。未來,中微公司的生產和研發基地總面積將達到約45萬平方米。
業務進展方面,中微公司在刻蝕設備、薄膜沉積設備、MOCVD設備等領域均取得了突破。在刻蝕設備領域,憑借刻蝕設備雙臺機技術,中微公司率先提出“皮米級”加工精度概念,其刻蝕精度已經達到100“皮米”以下水平,相當于頭發絲350萬分之一的精準度,能夠滿足90%以上的刻蝕應用需求。
半導體薄膜沉積設備領域,中微公司推出了Preforma Uniflex® CW、Preforma Uniflex®HW、Preforma Uniflex® AW等多款新產品。此外,其新開發的硅和鍺硅外延EPI設備、晶圓邊緣Bevel刻蝕設備等多款新產品,也會在近期投入市場驗證。
在MOCVD設備領域,中微公司自推出第一代MOCVD設備PRISMO A7®以來,不斷豐富產品線且快速升級迭代,目前在Mini LED等氮化鎵基設備領域,中微公司的市場占有率穩居前列,并持續開發用于氮化鎵、碳化硅等功率器件及Micro-LED器件制造的MOCVD設備。