中微半導體設備（上海）股份有限公司（簡稱“中微公司”）8月16日宣布，已向美國法院正式提交訴狀，起訴美國國防部將其列入中國軍事企業清單（簡稱“CMC清單”）的決定。
美國時間1月31日，美國國防部根據《2021財年國防授權法案》第1260H條，將中微公司列入CMC清單。中微公司堅信，美國國防部將中微公司列入CMC清單的決定是錯誤的，不符合事實，沒有法律依據，且違背了程序正當，給中微公司的聲譽造成嚴重影響。
自被列入CMC清單以來，中微公司竭盡所能積極地同美國國防部進行溝通、澄清事實，提供了充分的證據證明其不符合CMC清單的認定標準，并要求其將中微公司從CMC清單中移除。然而，遺憾的是，截至正式起訴之日，中微公司仍未如愿。因此，中微公司不得不采取法律途徑，請求法院要求美國國防部撤銷其錯誤決定，以消除誤解，維護中微公司合法權益，并保障中微公司股東、客戶及合作伙伴的利益。
中微公司表示，一貫堅持合法、合規經營，嚴格遵守國內和國際法律法規，從未參與任何與軍事相關的活動。在2021年1月14日（美國東部時間），美國國防部曾將中微公司列入中國軍事企業清單。經中微公司以充分的事實和證據向美國國防部申訴后，同年6月3日（美國時間）中微公司成功地被移除此清單。
中微公司董事長兼總經理尹志堯表示：“我們對美國國防部將中微公司再次列入涉軍清單深表震驚。這一決定是錯誤的，是毫無根據的。我們相信法院會作出一個公正的裁決，將中微公司從CMC清單中移除。同時，我們也愿意繼續與美國國防部保持溝通，友好妥善地解決所存在的爭議。”
公開資料顯示，中微公司致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領先的加工設備和工藝技術解決方案。中微公司開發的等離子體刻蝕設備和化學薄膜設備是制造各種微觀器件的關鍵設備，可加工微米級和納米級的各種器件。中微公司的等離子體刻蝕設備已被廣泛應用于國際一線客戶先進工藝的眾多刻蝕應用，中微公司開發的用于LED和功率器件外延片生產的MOCVD設備已在客戶生產線上投入量產，目前已在全球氮化鎵基LED MOCVD設備市場占據優勢地位。
