據(jù)天眼查顯示，上海天馬微電子有限公司近日取得一項(xiàng)名為“一種薄膜晶體管及制備方法、傳感器裝置及顯示面板”的專利，授權(quán)公告號(hào)為CN115346876B，授權(quán)公告日為2024年8月9日，申請(qǐng)日為2022年8月19日。

本發(fā)明實(shí)施例公開了一種薄膜晶體管及制備方法、傳感器裝置及顯示面板，包括：提供第一基板；在第一基板一側(cè)依次制備犧牲層、第一柵極、有源層和第二柵極，第一柵極在有源層上的垂直投影面積和第二柵極在有源層上的垂直投影面積不同，且面積較大的柵極完全覆蓋面積較小的柵極；以第二柵極為阻擋層對(duì)有源層進(jìn)行離子注入，形成第一摻雜區(qū)；以第一柵極為阻擋層對(duì)有源層進(jìn)行離子注入，形成第二摻雜區(qū)，第一摻雜區(qū)和第二摻雜區(qū)的摻雜濃度不同。本發(fā)明實(shí)施例提供的技術(shù)方案，以提高薄膜晶體管的性能，且簡化制備工藝。